Что такое фацет на зеркале: что это такое, виды, примеры использования в интерьере

Содержание

ФАЦЕТ НА ЗЕРКАЛЕ – ЧТО ЭТО ТАКОЕ

Той вид обработки выполняется под углом до 45 градусов. Зеркала, подвергнутые такой обработке – яркое дизайнерское решение, благодаря свету по краю, который красиво переливается. Изделия из стекла могут подчеркивать индивидуальность интерьера, придавая ему неповторимый эксклюзивный вид. Данное свойство заслужило интерес мастеров. Обработка дает возможность придания особой изюминки любому интерьеру. Лицевая сторона из стекла обрабатывает под необходимым углом и полируется. Завершающей процедурой является придание стеклу эстетичного вида. Благодаря следованию всем правилам выполнения работ мастера добиваются желаемого угла обработки. Так, линии изделий однородны, а лучи сходятся в углу, если изделие состоит из нескольких частей. Если не выполнять все требования, предъявляемые к обработке, то отраженный свет может выглядеть не достаточно эстетично. Разновидности фацета Стекло с фацетом бывает различным, чего можно добиться приемами обработки материала.
Типы фацетов: — прямолинейный. Присутствует на стеклянных столешницах, дверцах, ступенях, стеклопакетах и других изделиях; — техника комбинирования – когда одно стекло располагается на другом; — двойной. Резку выполняют под разными углами, поочередно; — двусторонний. Обработка производится на лицевой стороне и сзади изделия, благодаря чему оно особенно красиво начинает блестеть. — криволинейный. При таком фацете выполняется резка по стеклу, форма которого отлична от прямоугольника. У изделий очертания кругов, овалов, арок и иные формы. Кроме того, изделия разделяются и методом отделки: полировка и матирование. Такой вид обработки дает возможность расширения ассортимента уже готовых зеркал. Изготовление стеклянных предметов высочайшего качества выполняется с использованием только новейшего оборудования. При помощи современных технологий появилась возможность контролировать всю работу, благодаря чему брак в изделиях исключен. Работу выполняют профессиональные мастера с огромным стажем и опытом.
Данные факторы обеспечивают получение продуктов хорошего качества, способных радовать владельца много лет. Зеркала с фацетом не могут стать обыденностью, украшая долгие годы ваш дом и гармонируя с иными интерьерными элементами. Двойной фацет интересно смотрится на фоне простого, поскольку при изготовлении маленькое зеркало накладывается на большее по размеру.

Фацет на зеркале

Данное слово произошло из Франции, что обозначает – граненая плоскость. Фацет применяется для придания предмету экстравагантного и утонченного вида.

Виды

За счет огромным возможностям современных технологий, теперь можно выполнять фацет разными способами:
— если наложить малый фацет на большой, получается двусторонняя огранка. Данная услуга отличается разнообразными дизайнерскими возможностями, причем нет необходимости в посторонних элементах. Двусторонний фацет используется в производстве панно или конструкций из нескольких зеркал, дополняющих квартиру;
— криволинейная обработка возможна — криволинейная обработка возможна на полотне с толщиной 5 – 15 мм. Изделия с криволинейным фацетом должны быть не меньше 45 см, потому что грань может иметь наклон до 40 мм;
— подходящий для декорирования не слишком больших зеркал прямолинейный фацет, с минимально допустимыми размерами 25 на 25. По границам изделия со скосом под углом 50 – 450 мм. Толщина полотна должна быть не более 4 мм. Если зеркало широкое, необходима полировка.

Фацет на зеркале: особенности выполнения

Современное оборудование отлично справляется с данной технологией. Такая аппаратура с абсолютной точностью делает скос, а также дополнительно шлифует полотно. Зеркало с фацетом, произведенное данным способом, приобретает матовый оттенок. Для придания же прозрачности важно осторожно отполировать изделие. Чтобы усилить уникальность дизайна, можно оформить изделие в металлический багет, который подчеркнет фактуру и блеск самого зеркала, придавая интерьеру законченный вид.

Изготовление фацета на стекле и зеркалах в Москве

Стекольная компания «Стекло и стеклоизделия» предлагает изготовление фацета на стекле и зеркалах различных видов и толщин, а так же изготовление зеркальной плитки с фацетом, популярного строительного материала в современных помещениях.

Что такое фацет?

Фацет – это полированная или шлифованная полоса (фацет на зеркале от 5 мм до 40 мм), окаймляющая поверхность стекла или зеркала, скошенная к краю и образующая с нею определенный угол.

Фацет на стекле толщиной 10 мм

Фацет на зеркале

При изготовлении зеркала с фацетом, с края зеркала, под определенным углом, снимается кромка (от 5 до 40 мм). Фацет придает зеркалу визуальную законченность и создает эффект объема. Зеркала с фацетом смотрятся эффектнее, красивее и благороднее.

Фацет на зеркале толщиной 4 мм

Фацет на зеркале – это способ декоративной обработки кромки, который способен невероятно украсить поверхность зеркального полотна. Зеркала приобретают определенное благородство и изящество линий.

Своим заказчикам мы предлагаем следующие виды услуг по изготовлению фацета:

  • Плитка с фацетом
  • Зеркальные фацеты
  • Фацет на стекле
  • Зеркала с фацетом
  • Двойной фацет
  • Двусторонний фацет

Мы располагаем собственной стекольной мастерской и предлагаем самый полный спектр услуг по изготовлению фацета на стекле и зеркалах различных видов и толщин.

Цены на изготовление фацета

до 10 мм 20 мм 30 мм 40 мм
140 р. 180 р. 240 р. 360 р.

Более подробную информацию по стоимости изготовления фацета на стекле и зеркале вы можете увидеть в общем прайс-листе на стекло:

Скачать прайс-лист

Наличие на нашем производстве самого современного оборудования для обработки фацета на зеркалах, позволяет выполнять самые сложные заказы в сжатые сроки, а собственный парк специальных автомобилей для перевозки стекла помогает вовремя доставить всю производимую продукцию заказчику.

Что такое фацет на зеркалах и стеклах и как его использовать в интерьере

Слово «фацет» пришло в наш язык из французского, и в переводе означает «грань», «фаска». Это особый способ декоративной обработки стеклянных и зеркальных поверхностей, благодаря которому они получают законченный и дорогой вид. Такие изделия придают оригинальности и роскоши интерьеру, могут использоваться для украшения квартир, домов и офисов.

Что такое фацет

Изначально техника фацета использовалась французскими ювелирами, желающими придать своим изделиям из драгоценного камня завершенный вид. Этот способ получил большой успех и начал использоваться при изготовлении зеркал и стекол, а секрет такой популярности – особая игра света, создаваемая гранеными скошенными поверхностями. Они действуют по принципу призмы, преломляя солнечные лучи. В результате этого получается эффект разноцветных переливов, которые создают особую атмосферу в комнате.

Кроме красивого внешнего вида, обработанное таким образом зеркало становится легким для установки. Так как изделие получает скошенные края, его без проблем можно вставить в раму. Поэтому такие поверхности используются также для изготовления мебели и дверей, ведь на их сборку уходит меньше времени и средств.

Как изготавливается фацет

Благодаря развитию технологий процесс фацетирования стекол и зеркал стал занимать намного меньше времени, а качество работы повысилось. Для декорирования поверхностей применяют специальное оборудование, создающее кромку любой ширины и угла наклона. Такое окаймление абсолютно безопасно, об него невозможно порезаться. Это обеспечивается тщательной полировкой и шлифовкой кромки, поэтому риск травм сведен к нулю.

Цена готового изделия будет зависеть от сложности его изготовления и мастера. Конечно, чем опытнее специалист и чем оригинальнее обрамление, тем выше будет стоимость. Но если хочется создать дорогой и красивый интерьер, за такой декор определенно стоит заплатить.

Фацет делится на несколько видов, которые различаются способом изготовления. Разнообразие техник помогает подобрать подходящую вариацию для многих нужд, будь то оформление двери или обычное зеркало. Материал обрабатывают следующими методами:

  • Прямой. Используется для обработки квадратных или ромбических стекол. Они получают прямой срез, что является отличительной особенностью данной техники. Габаритные изделия обязательно полируют для достижения аккуратного внешнего вида. Чаще всего этот метод используется для декорирования журнальных столиков, дверей и шкафов зеркальными или стекольными вставками.
  • Криволинейный. Техника изготовления позволяет регулировать угол наклона и направление кромки, поэтому таким способом обрабатывают поверхности необычных форм, например овалов, кругов или арок с плавными краями. Применяется, как правило, для фацетирования больших поверхностей высотой более полуметра.
  • Двойной фацет. Он позволяет усилить преломление солнечного света, что обеспечивает более интересный и красивый визуальный эффект. Этот способ актуален для обработки многослойных зеркал и стекол.
  • Двусторонняя огранка. Используется для стекол, которые вставляются в окна или двери, так как для них необходима обработка с обеих сторон.

Интересно смотрятся матовые стекла, украшенные прозрачным фацетом. Такой вариант подойдет для строгого интерьера, например в стиле минимализм.

Использование фацета в разных стилях интерьера

Стекла и зеркала, декорированные в технике фацет, универсальны и подойдут почти для любого интерьера. Они выглядят оригинально и стильно и одинаково уместно смотрятся и в роскошной классике, и в строгом английском стиле, и в свободном просторном лофте.

Современный стиль

Главным правилом современного стиля является практичность и удобство во всем. Здесь не место броским и мудреным предметам декора, они должны быть лаконично и просто оформлены. Идеальным украшением для комнаты в современном стиле станут зеркала и стекла с фацетом, которые можно применять по-разному: часто такие изделия встречаются в журнальных столиках, а на стене в гостиной можно встретить интересные дизайнерские композиции. Для декорирования межкомнатных дверей отлично подойдет стекло с двусторонней огранкой, а шкафу-купе фацетное зеркало придаст статусности.

Фацетные зеркала кроме декорирования комнаты несут еще одну важную функцию. Благодаря их способности сильно отражать солнечные лучи, с их помощью можно визуально расширить помещение. Особенно это актуально в маленькой кухне или ванной комнате, а увеличить эффект поможет интерьер в светлых тонах.

Лофт

Свободолюбивый лофт легко узнается по характерным ему кирпичным стенам, металлическим трубам, балкам, проводам, высоким неотделанным потолкам и габаритной мебели. При выборе декора для стиля лофт важно придерживаться правила: его количество должно быть минимальным. Сам декор выбирают функциональный и практичный, поэтому важным элементом в таком интерьере является зеркало.

Лофт – не строгий стиль. Ему присущи простота и некая расслабленность, поэтому фацетное зеркало может просто стоять на полу. Если же хочется повесить его на стену, раму стоит выбирать самую простую и неброскую.

Стиль лофт – это свобода и большое пространство, поэтому он обычно используется для оформления квартир-студий. Лофт не приветствует массивных перегородок, сужающих помещение. Выходом из ситуации станут стеклянные ограждения с фацетом – они не нагружают интерьер, но отлично справляются со своей функцией зонирования.

Классический стиль

Особо гармонично смотрятся фацетные зеркала в величественном и роскошном классическом стиле. Их можно было встретить в царских интерьерах, бальных залах и огромных аристократических гостиных. Здесь можно дать простор фантазии и выбрать зеркало, выглядящее самым нарядным и декорированным, ведь классика любит красоту и обилие украшений.

Особое внимание стоит уделить раме – простые варианты лучше оставить двум вышеописанным стилям. Для классики нужно отдавать предпочтение резным обрамлениям, украшенным золотыми или бронзовыми вставками.

Фацетное зеркало прекрасно подчеркнет грациозную величавую обстановку и сделает акцент на натуральной деревянной мебели. Но нужно быть аккуратным при выборе размера зеркала. Слишком большие модели могут создать ощущение «захламленности», вызванное отражением в них габаритной мебели.

Ар-деко

Стиль ар-деко немыслим без использования большого количества оригинальных высоких зеркал, поэтому в такой интерьер идеально впишутся фацетные изделия. Их можно использовать в коридорах и прихожих, которые обычно довольно маленькие и узкие. Зеркальные поверхности исправят этот недостаток. Например, очень популярны шкафы с зеркалами, декорированными в технике фацет.

Очень эффектно смотрятся зеркальные панно, расположенные на стенах. Их можно использовать в любой комнате: гостиной, спальне или кабинете. К примеру, украсить такой композицией изголовье кровати. Отражаемый зеркальной поверхностью свет сделает комнату светлее и уютнее, а это очень важно в спальне, особенно, если она не расположена на солнечной стороне.

Американский стиль

Основная отличительная черта американского стиля – большая площадь. Американцы любят совмещать несколько комнат, например, столовую и гостиную, в одной. Но в городских квартирах такого простора может быть трудно добиться даже с учетом сноса перегородок. В таком случае на помощь приходит светлая мебель и зеркала, именно поэтому дизайнеры часто применяют фацетные поверхности для создания интерьера в американском стиле.

Чтобы сделать обстановку более легкой и непринужденной, межкомнатные двери декорируют фацетными зеркалами. Такая деталь подчеркнет гостеприимную, уютную и доброжелательную атмосферу, свойственную американскому интерьеру.

Этот же фокус можно проделать и с кухонным гарнитуром, украсив навесные ящики прозрачным или матовым стеклом с фацетом. С помощью этого приема можно перенести акцент на мебель или предметы декора.

Английский стиль

Прародителями этого стиля считают вычурный и роскошный барокко, практичный рококо и величественную готику. В сочетании с современной тенденцией делать интерьер максимально уютным и функциональным, они превратились в английский стиль. Его можно узнать по обилию красного дерева, большим стеклянным дверям и традиционным узорам в клетку.

В английском интерьере зеркала с фацетом, оформленные в раму из красного дерева, например, дуба или ореха, будут гармонично смотреться на общем фоне. Рама может быть выполнена и из золота или бронзы. Характерные для Англии высокие двустворчатые двери также можно украсить фацетным стеклом с клетчатым прямым узором, а наличие такого украшения на шкафах подчеркнет солидность и дороговизну интерьера.

Если грамотно подойти к вопросу, то с помощью изделий с фацетом можно успешно дополнить интерьер в любом стиле. Главное не забывать особенности, присущие тому или иному направлению, и подбирать изделия согласно этим критериям. Если в магазинах не нашлось подходящего варианта, можно заказать индивидуальное зеркало или стекло у мастера или прибегнуть к его самостоятельному изготовлению.

Как самостоятельно сделать фацет на зеркале

Оригинальный и стильный внешний вид фацетных изделий привлекает любителей подобных украшений. Неудивительно, что многие люди решают попробовать задекорировать стекла и зеркала в доме в технике фацет самостоятельно. Однако делать этого не стоит: чтобы создать качественный декор, необходимо обладать рядом знаний и иметь опыт работы со стеклом. Этим занимаются обученные профессионалы.

Кроме того, для фацетирования поверхностей используются специальные довольно дорогостоящие станки. Из-за этого творческие приверженцы создавать все своими руками пробуют пользоваться подручными материалами, что чревато травмами.

Если вы все же хотите создать индивидуальный декор, можно приобрести фацетные стекла и сделать из них настенное панно. Для его изготовления понадобится приобрести:

  • фацетное стекло;
  • специальный клей для стекла;
  • уф-лампу для сушки клея;
  • инструменты и дополнительные аксессуары.

Перед началом работ нужно составить эскиз будущего панно, по которому вы будете его изготавливать. Также не забудьте про перчатки – работать придется с клеем.

Изготовление фацетного панно или витража имеет как плюсы, так и минусы. Конечно, это творческий процесс, в результате которого вы создадите уникальный предмет интерьера. Но стоимость всех материалов может сравниться с ценой готового изделия, а иногда даже превысить его. У неподготовленного человека есть риск испортить заготовки. Поэтому, если вы решили создать фацет самостоятельно в целях экономии, лучше отказаться от этой идеи и обратиться к проверенному мастеру.

Но если вы творческий человек, желающий найти новое хобби, не отказывайте себе в таком удовольствии. Декорирование поверхностей фацетом – увлекательный и интересный процесс, который в будущем может превратиться в способ заработка.

Зеркало с фацетом станет изюминкой интерьера и сделает его вид презентабельным и роскошным. В сочетании со светлым интерьером оно визуально поднимет потолки и расширит комнату, а в темном интерьере сгладит мрачную атмосферу, добавив света и тепла.

Что такое фацет на зеркало?

В отличие от базовой еврокромки, фацет не только защищает от порезов об острые края, но и придает изделию завершенный внешний вид. Что представляет собой фацетирование краев зеркал?

Особенности зеркала с фацетом

Фацет – это внешняя грань, или фаска. Так как огранку выполняют под углом, при попадании света лучи преломляются и получается блеск – в результате зеркало выглядит презентабельнее и интереснее.
По методу обработки грани фацет бывает:

  • прямолинейный – применяется для обработки зеркал простой формы, не имеющих закругленных краев, например, для столешниц, ступеней, дверок и стеклопакетов;
  • криволинейный – подходит для обрамления в форме круга, овала, арки, фаску наносят под углом 7-45 градусов.

Отделка зеркал с фацетом может быть матированной либо полированной. При матировании получается матовая поверхность, при полировке – прозрачная. Ширина фаски зависит только от ширины зеркала – чем толще, тем шире и красивей фацет можно получить.

Фацетирование можно выполнить на зеркале толщиной не менее 4 мм. Минимальный размер изделия при прямолинейной обработке – 100×100 мм, при криволинейной – 110х180 мм. Ширина кромки может быть от 5 до 35 мм.

Виды зеркал

Модели зеркал с фацетной обработкой:

  • настенное в раме или без – функциональные модели вешают в ванной, прихожей или гостиной, за счет такого элемента маленькое пространство выглядит просторнее;
  • зеркальное панно – зеркало ромбами с фацетом в раме визуально расширяет пространство и помогает акцентировать внимание на предметах интерьера. Отлично подходит для больших комнат;
  • зеркальная плитка – компактные зеркала применяют как декор и для отделки помещений, например, фартука кухни или стен в ванной. В зависимости от интерьера выкладывают часть стены или отдельный участок.

Фацетированная обработка краев превращает стандартное зеркало в оригинальный предмет декора, даже если вы покупаете готовое изделие.

Если ищете нестандартную модель, заказывайте изготовление панно или зеркальной плитки в Минске в мастерской – такой элемент станет настоящей изюминкой интерьера.

Зачем нужен фацет? — АКТУАЛЬНОЕ СТЕКЛО — cтекольно-зеркальная мастерская — резка стекла и зеркал в Екатеринбурге и области

С французского «фацет» переводится как плоскость или грань граненого предмета. Используется фацет в различных областях, чаще всего – это грани стекла/зеркала, придающие ему отличный внешний вид и дающие возможность дизайнеру «играть» со светом.

Фацетирование зеркал и стекол – это современный способ обработки, который незаменим в дизайне и в деле обустройства помещений. Используя данную несложную технологию, можно сделать уникальные по форме и красоте конструкции и просто придать изделию дополнительную изысканность.

Простой пример использования фацета – зеркало в ванной комнате. Зеркало, как-правило, вставляется в декоративную рамку, закрывающую необработанные края изделия и придавая ему более привлекательный дизайн. Края зеркал, будучи необработанными, смотрятся непрезентабельно и могут являться причиной порезов. Кайму лучше обрабатывать простой полировкой или шлифовкой, но куда красивее будут выглядеть скошенные края отполированные до прозрачности. Собственно, данную обработку и называют «фацет».

Фацет купить — это отличная идея, ведь с помощью него можно быстро и с минимальными усилиями дать зеркалу более привлекательный внешний вид и сделать всю конструкцию необходимой ширины и длины.

Если вы решили купить зеркало, помните, что фацет может использоваться и для изделий из стекла. Нередко его используют в качестве способа обработки элементов корпусной мебели – книжных шкафов, тумбочек и стенок. Обработанные дверцы смотрятся красиво и безопасны в эксплуатации.

Зеркальные же фацеты отлично смотрятся в интерьере, даря ему аристократичность и изящество.

Зеркало с фацетом гармонично смотрится в любом доме. Подойдет фацетирование и другим изделиям, которые часто используются в офисных и жилых помещениях. Стеклянные перегородки, стекла в окнах, зеркала и витражи – это только небольшая часть конструкций, для которых данный способ обработки незаменим. Также, большой популярностью в настоящий момент пользуется зеркальная плитка с фацетом.

Одна из самых популярных сфер использования фацетов – зеркальные витражи. Кроме этого, приобретая зеркало на заказ для мебели, можно использовать и классические стекла.

 

Фацет на зеркале что это

Данное решение представляет собой оригинальный подход для оформления стен, шкафов или пола. Она также может украшать колонны, арочные и дверные проемы. Данные предметы скрывают мелкие дефекты и даже визуально корректирует квадратуру комнаты. Узкая комната преображается, если стены украшены зеркальной плиткой. Это дает эффект визуального расширения пространства.

Зеркала ванной комнаты будут самым успешным шагом, так как, чаще всего, это помещение имеет небольшую площадь. Здесь вы можете использовать зеркала с фацетом в больших количествах, не опасаясь перегрузки. Чтобы создать ощущение свободы и глубины, можно наносить устанавливать плитку с фацетом по диагонали, чередующиеся зеркала и керамику. Угол наклона должен выбираться с учетом всех нюансов, поскольку определенные линии могут влиять на общую стилистику интерьера. Тут лучше всего обратиться к дизайнерам нашей компании за помощью, ведь они уже не раз реализовывали подобные идеи.

Зеркала ванной комнаты будут самым успешным шагом, так как, чаще всего, это помещение имеет небольшую площадь. Здесь вы можете использовать зеркала с фацетом в больших количествах, не опасаясь перегрузки. Чтобы создать ощущение свободы и глубины, можно наносить устанавливать плитку с фацетом по диагонали, чередующиеся зеркала и керамику. Угол наклона должен выбираться с учетом всех нюансов, поскольку определенные линии могут влиять на общую стилистику интерьера. Тут

Зеркала с фацетом на кухне и в столовой будут полезны тем, что они отражают приготовленные блюда, вызывая приятные эмоции и наслаждение от еды. На маленькой кухне всегда актуальны зеркала, делающие помещение визуально больше. Кроме того, представленные изделия придают помещению особый шарм, делают его изысканным и неординарным.

Стекло с фацетом отличается обработкой на кромке под определенным наклоном. Эффект придает изделиям торжественный и интересный вид. Все благодаря тому, что попадающий свет по краям готового зеркала переливается и красиво поблескивает.

Фацет: что это?

Дополнительные элементы могут подчеркнуть уникальность интерьера, придавая ему завершенный вид. Данное свойство материала привлекло дизайнеров, использующих его в различных областях. В итоге появились стекла с фацетом, а затем и зеркала. Полотно подвергается обработке с лицевой стороны, под необходимым углом. Затем производится полировка, благодаря которой изделие становится очень красивым.

Если соблюдены все правила, можно добиться требуемых показателей готового изделия. В идеале все линии однородны, а световые лучи встречаются в углу. При неподобающем выполнении действий, отражаемый свет не слишком аккуратен.

Виды фацетов

  • прямолинейный чаще всего применим к зеркальной плитке, ступеням, дверям и т.д.;
  • двойной. Тут резка производится поочередно под разными углами;
  • комбинированный. При такой обработке одно полотно лежит на другом;
  • двусторонний подразумевает обработку обеих сторон изделия, придавая блеск;
  • криволинейный фацет выполняется на изделиях, которые не являются прямоугольными, а могут быть овальными, круглыми, арочными и др.

Кроме того, зеркала с фацетом отличаются и способом отделки. Это может быть полирование и матирование. Такие манипуляцию расширяют возможных разнообразие товаров.

Изготовление фацета

Фацеты, которые нанесены на зеркало – последний этап отделки. Если совместить его с витражом, то помещение будет иметь эффект средневекового дорогого помещения. Всех интересует вопрос стоимости зеркал с фацетом. Данный показатель полностью зависит от габаритов изделия, его форм и сложности дополнительно проведенных процедур.

Криволинейные фацеты часто используются для оформления элементов интерьера. Возможность создания различных форм дает возможность дополнения необычных дизайнерских идей. Например, в последнее время, стали использовать зеркальные двери.

Что такое фацет на зеркале

На сегодня зеркало является одной из пятерки необходимых для человека вещей, без которых он не может обойтись ни дня. А современные технологии позволяют создавать зеркала, которые смело можно приравнивать к шедеврам искусства.

Зеркало – элемент декора, который становится все качественнее и красивее, с каждым годом все больше популярности набирают зеркальные фацеты способные украсить любой интерьер, привнести в него нечто необычное, оригинальное.

Фацет: описание и свойства

Фацетом называют внешнюю грань стекла. Этот термин является технологическим, он означает метод, который применяют, обрабатывая минералы и внешнюю кромку стекла. Обработка фацета – сложный процесс, им должны заниматься профессионалы и специалисты, такие, которые работают у нас в мастерской «Стекло-Декор».

Огранку стекла производят под углом в 45 градусов, данная технология родом из Франции и у нас ее применять стали не так давно. Фацет в интерьере смотрится очень красиво, именно поэтому данная технология набирает популярность. Зеркальный фацет добавит в интерьер любого помещения особенную оригинальность, а специалисты нашей мастерской осуществят все Ваши задумки.

Виды фацета

Стекольщики с древних времен совершенствовали обработку стекла, в 13 веке стали создавать и обрабатывать стекло, технология обработки была тайной много веков. Раньше зеркала были роскошью, и позволить себе их мог лишь очень богатый человек. Но на сегодня — это предмет обихода, и зеркало является востребованным элементом декора.

Стеклянный фацет по методу обработки существует:

  • Односторонний;
  • Двусторонний.

Чаще всего используют двусторонний метод, срез делают на лицевой и на тыльной части стекла, за счет этого сияние граней удваивается, что придает изделию еще более роскошного вида.

Существует несколько видов зеркал с фацетом, и каждый из них Вы сможете приобрести у нас. Высокое качество, профессиональные мастера и выполнение изделия в максимально быстрые сроки, все это Вы получите, если обратитесь к нам!

Виды зеркальных фацетов:

  • Настенное зеркало с фацетом;
  • Зеркальная плитка с фацетом;
  • Панно;
  • Фацет в раме.

Зеркальные фацеты купить можно в нашей мастерской, Мы предлагаем клиентам широкий спектр услуг связанных с обработкой стекла. Индивидуальный подход к каждому клиенту, оригинальное и уникальное исполнение, мы предоставим Вам работу высокого качества! Фацетное зеркало можно купить в готовом виде, также можно заказать предмет по собственным предпочтениям и пожеланиям. Для наших мастеров нет ничего невозможного, и изготовить фацеты, купить зеркала с фацетами уникальные и любых форм Вы сможете только у нас.

Для того, чтобы связаться с нашими менеджерами, воспользуйтесь контактными данными, указанными ниже.

  • Киевстар: +38 (067) 136-96-20
  • Стационар: +38 (0462) 61-21-82
  • MTS: +38 (099) 959-29-37
  • ‎Life: +38 (063) 747 40 14
  • [email protected]

Как сделать многогранное настенное зеркало | HGTV Design Star

Светоотражающие поверхности — отличный способ внести свет в пространство и сделать его больше. Если ваша комната могла бы быть немного гламурной, это многомерное зеркало для вас. Он выглядит как высококлассный аксессуар, но днем ​​его можно собрать самостоятельно.

Добавьте краску в поддон, прикрепите гильзу к малярному валику, затем нанесите два слоя выбранного вами цвета отделки на предварительно загрунтованную отделку.

С помощью торцовочной пилы отрежьте 4 отрезка обрезки диаметром 37-1 / 2 дюйма под углом 45 градусов.

Удерживая каждую из четырех скошенных частей кромки друг к другу, скрепите их вместе жидким клеем и гвоздями или шурупами для отделки.

Поместите собранный каркас непосредственно на фанеру на ровной твердой поверхности. Карандашом обведите все четыре внешних края рамки.Далее разрежьте по начерченной линии циркулярной пилой.

Для предотвращения деформации, а также для обеспечения исчезновения подложки после прикрепления зеркал покрасьте фанерную подложку в тон раме. Прикрепите основу к каркасу шурупами по дереву.

Используя карандаш и блокнот, нарисуйте эскиз, отметив расположение каждого зеркала и его соответствующую высоту. Чтобы воспроизвести этот проект, используйте три разных высоты: плоскую, с подъемом на 1/2 дюйма и с подъемом на 1 дюйм. Совет : Сохранение различных отметок в каждом ряду обеспечивает многомерный вид. Соседние зеркала нельзя размещать на одинаковой высоте.

Используя обрезки фанеры или обрезки, сделайте три подступенка 1/2 дюйма и три подступенка 1 дюйм. Сложите вместе деревянные обрезки, а затем прикрепите их друг к другу жидким клеем.

После разметки фанерной основы малярной лентой для обозначения расположения каждого зеркала прикрепите подступенки к фанерной основе с помощью жидкого клеящего вещества.

Работая по одному ряду, прикрепите каждое зеркало к соответствующему стояку с помощью жидкого адгезива. Обильно нанесите клей на заднюю часть зеркала и центр подступенка. Подождите не менее 24 часов, чтобы клей высох, прежде чем повесить.

С помощью дрели и шурупов прикрепите детали для подвешивания картин и провод к задней панели.

С помощью рулетки измерьте стену на предмет правильного размещения; по возможности старайтесь вешать прямо на стойку стены. Совет : Многие дизайнеры предлагают вешать произведения искусства и зеркала с центром, расположенным примерно в пяти футах от пола.

Отметив нужную высоту, прикрепите к стене вешалки для картин с помощью молотка или дрели, а затем повесьте зеркало с новой прикрепленной фурнитурой.

граненых зеркал — 83 на продажу на 1stDibs

Найдите множество граненых зеркал, доступных на 1stDibs. Часто сделанные из стекла, зеркала и металла, все имеющиеся граненые зеркала были сконструированы с особой тщательностью.Найдите 154 антикварных и винтажных граненых зеркала на 1stDibs прямо сейчас или купите нашу подборку из 14 современных версий, чтобы получить более современный образец этой старинной мебели. Граненые зеркала производятся в течение многих лет, и их версии относятся к 18 веку наряду с теми, которые были произведены совсем недавно, в 21 веке. Граненые зеркала, созданные дизайнерами Mid-Century Modern, а также те, что связаны с Hollywood Regency, очень популярны в 1stDibs. Некоторые граненые зеркала слишком велики для некоторых пространств — множество граненых зеркал меньшего размера, размером 7.88 дюймов в диаметре, доступны на 1stDibs. За прошедшие годы было создано много хорошо сделанных зеркал с гранью, но те, что сделаны Palwa, Cristal Arte и Neal Small, часто считаются одними из самых красивых.

Средняя цена продажи на 1stDibs составляет 3295 долларов США, в то время как они обычно составляют 276 долларов США на нижнем уровне и 55 000 долларов США на максимальной цене.

Несколько правильно расположенных настенных зеркал могут усилить освещение и помочь продемонстрировать декоративные и архитектурные особенности вашего дома.

Винтажные и антикварные настенные зеркала добавляют пространству глубины и открытости — они могут помочь создать иллюзию того, что узкий коридор не такой уж и узкий. Но вам не нужны сотни огромных арочных французских или итальянских зеркал в позолоченной бронзе, чтобы украсить ваш дом (может быть, всего несколько).

Для Версальского дворца в 17 веке французский король Людовик XIV приказал построить Зеркальный зал, потратив миллионы долларов на импорт дорогих венецианских зеркал с почитаемых стеклодувных фабрик на острове Мурано. Между Парижем и Венецией возникло соперничество в производстве зеркал, и вскоре напротив 17 больших окон, выходящих на соседние Дворцовые сады с одной стороны Зала, появилось более 350 зеркал — больших зеркал, сделанных из групп небольших панелей. установлены, эффективно перенося сияющие цвета окружающей среды в роскошный коридор.

Подчеркните цвета и текстуры вашего ландшафта в помещении в стиле Людовика XIV, покрыв всю внутреннюю стену напротив окон гостиной настенными зеркалами. Чтобы добиться аналогичного эффекта, окружите свое современное настенное зеркало середины века зелеными воздушными растениями и растениями из папоротника, чтобы усилить ощущение безмятежности, которое зелень предлагает в вашем доме. Выберите стили рамы настенного зеркала, подходящие к декору вашего дома, или купите безрамное зеркало органической формы, обрезанное или скошенное, чтобы получить чистый, но характерный экспонат.Для беззаботного богемного ощущения создайте группу несоответствующих друг другу старинных настенных зеркал — расположение круглых настенных зеркал в стиле ар-деко, зеркал в стиле рококо с серебряной фольгой и декоративных овальных викторианских зеркал может добавить изюминку в неприкрашенную стену столовой.

В другом месте нет ничего напрасного в том, чтобы повесить настенное зеркало в полный рост в спальне, ванной или гардеробной, чтобы помочь вам улучшить свой образ в течение дня. Другой может понадобиться в вашем подъезде для проверки ансамбля в последнюю минуту.На самом деле, за стальной дверью ателье Стивена Кавалло на Манхэттене посетителей ждет мерцающий зеркальный зал 18-го века.

«Нам нравится видеть лица людей, когда они входят», — говорит Кавалло.

Украшение вашего дома и офиса настенными зеркалами само по себе является формой искусства — начните сегодня с разнообразия старинных, новых и винтажных настенных зеркал на 1stDibs.

Amazon.com — Godinger 44544 Граненное хрустальное зеркало с подставкой


В настоящее время недоступен.
Мы не знаем, когда и появится ли этот товар в наличии.
Материал Кристалл
Тип монтажа Отдельно стоящий
Вес предмета 1 унция
Форма Круглый
Марка Годинджер

  • Убедитесь, что это подходит введя номер вашей модели.
  • Кол-во в упаковке: 1
  • Превосходное качество.
  • Отличная идея подарка.
  • Удовлетворение гарантировано.
  • Изготовлен из материалов высочайшего качества

Многогранные зеркала — Многогранные зеркала UK


Покупайте многогранные зеркала прямо со склада с бесплатной доставкой на сумму свыше 150 фунтов стерлингов.Наш ассортимент многогранных зеркал не имеет себе равных. От классического дизайна до более необычного или современного дизайна зеркал — эти зеркала действительно привлекают внимание. Многогранность означает наличие множества разных сторон или множества различных функций, и эти зеркала, безусловно, соответствуют этому требованию с потрясающим качеством и дизайном.

Прямые кромки

Захватывающая дух оригинальность многогранных зеркал создает естественную тему для разговора. Созданный как произведение искусства, вам понравится, как эти блестящие элементы стены придают вашему дому особый характер.Когда вы покупаете одно из наших многогранных зеркал, вы найдете широкий выбор на любой вкус и любой декор. Для создания хорошо упорядоченного и элегантного стиля у нас есть ряд зеркал с идеально прямыми краями. Эти красиво оформленные дизайны создают ощущение упорядоченного спокойствия. Подвесив одно из этих замечательных зеркал в оптимальном положении, вы создадите настоящее ощущение безмятежности.

Закругленные формы

Точно так же наш выбор закругленных, галечных многогранных зеркал создает умиротворяющую атмосферу на стене.Разбейте любую большую простую стену с помощью этих потрясающих предметов. Красота зеркала из гальки, доступного в различных размерах и тонах, заключается в его естественной форме. Чувственные круглые формы, из которых состоят эти зеркала, напоминают нам гладкие камни в плавно текущей ручейке или капли дождя на окне. Изысканный.

Эффектные многогранные зеркала

Если вы ищете что-то грандиозное, обратите внимание на наши авангардные изделия! Вы будете очарованы ослепительными многогранными зеркалами, которые искусно соединяют вместе дикие формы и хитроумные образования.В оформлении этих невероятных предметов присутствует оперный оттенок. Угловые формы мозаичны и соединяются, образуя эффектный и оригинальный дизайн.

Преобразите свою гостиную, спальню, столовую, домашний офис или где-нибудь еще — вам понравится освежающий вид, который придаст многогранное зеркало, и то, как оно может отражать свет в пространстве.

Заявка на патент США для ЛИДАРНЫХ СИСТЕМ, В КОТОРОЙ ИСПОЛЬЗУЕТСЯ ЗАЯВКА НА МНОГОФАСНОЕ ЗЕРКАЛО (Заявка № 20200150247, выданная 14 мая 2020 г.)

Это приложение заявляет права на U.S. Предварительная заявка № 62/767401, поданная 14 ноября 2018 г., раскрытие которой полностью включено в настоящий документ.

ОБЛАСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Настоящее изобретение в целом относится к лазерному сканированию и, более конкретно, к использованию вращающегося многоугольника в сочетании с многогранным зеркалом.

ПРЕДПОСЫЛКИ

Существуют системы, позволяющие управлять транспортными средствами полуавтономно или полностью автономно. Такие системы могут использовать одну или несколько систем определения расстояния, картографии или обнаружения объектов для обеспечения сенсорного ввода для помощи в полуавтономном или полностью автономном управлении транспортным средством.Например, системы обнаружения и определения дальности (LiDAR) могут обеспечивать сенсорную информацию, необходимую для полуавтономного или полностью автономного транспортного средства. Системы LiDAR используют световые импульсы для создания изображения или облака точек внешней среды. Некоторые типичные системы LiDAR включают в себя источник света, импульсную систему управления и детектор света. Источник света генерирует световые импульсы, которые направляются системой управления импульсами в определенных направлениях при передаче от системы LiDAR. Когда переданный световой импульс рассеивается объектом, часть рассеянного света возвращается в систему LiDAR в виде возвращенного импульса. Детектор света обнаруживает возвращенный импульс. Используя время, которое потребовалось для обнаружения возвращенного импульса после того, как световой импульс был передан, и скорость света, система LiDAR может определить расстояние до объекта на пути прошедшего светового импульса. Система импульсного управления может направлять световые импульсы по разным путям, позволяя системе LiDAR сканировать окружающую среду и создавать изображение или облако точек. Системы LiDAR могут также использовать методы, отличные от времени пролета и сканирования, для измерения окружающей среды.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ

Варианты осуществления, обсуждаемые здесь, относятся к использованию систем LiDAR, которые используют вращающийся многоугольник в сочетании с многогранным зеркалом гальванометра.Такие многогранные зеркала гальванометра создают точечную карту с уменьшенной кривизной.

В одном варианте осуществления предоставляется система LiDAR, которая включает в себя систему управления лучом, включающую в себя многоугольник, имеющий множество граней и действующий для вращения вокруг первой оси вращения, и многогранное зеркало, действующее для вращения вокруг второй оси вращения, при этом плоская поверхность по меньшей мере одной грани многогранного зеркала выровнена под ненулевым углом перекоса по отношению ко второй оси вращения. Система LiDAR также может включать в себя лазерную систему, действующую для излучения световых импульсов, которые управляются системой управления лучом в пределах поля зрения (FOV) системы LiDAR, и систему приемника, работающую для обработки отраженных импульсов, соответствующих излучаемым световым импульсам. для создания точечной карты FOV.

В одном варианте осуществления предусмотрена система LiDAR, которая включает в себя систему управления лучом, имеющую систему многоугольников, включающую многоугольник, действующий для вращения вокруг первой оси вращения, и многогранную зеркальную систему, которая может включать в себя механизм вращения зеркала, и многогранное зеркало гальванометра (MFGM), работающее для вращения вокруг второй оси вращения под управлением механизма вращения зеркала, при этом MFGM содержит множество граней, и где плоская грань по меньшей мере одной грани выровнена с ненулевым угол перекоса относительно второй оси вращения.Система LiDAR может включать в себя лазерную систему, действующую для излучения множества световых лучей, которые управляются системой управления лучом в пределах поля зрения (FOV) системы LiDAR, систему приемника, работающую для обработки отраженных импульсов, соответствующих излучаемым световым импульсам. для создания точечной карты поля обзора и контроллера, который управляет лазерной системой и механизмом вращения зеркала.

В одном варианте осуществления предоставляется система LiDAR, которая включает в себя систему управления лучом, имеющую двигатель, многоугольник, содержащий множество граней и способный вращаться вокруг первой оси вращения, и многогранное зеркало, содержащее по меньшей мере две соединенные грани. вместе через соединительный элемент, при этом двигатель работает для колебания первой грани по меньшей мере двух граней вокруг второй оси вращения, и при этом соединительный элемент действует для колебания второй грани, по меньшей мере, двух граней вокруг третьей оси вращения. ось в сочетании с работой двигателя.Система LiDAR может включать в себя лазерную систему, действующую для излучения световых импульсов, которые управляются системой управления лучом в пределах поля зрения (FOV) системы LiDAR, и систему приемника, работающую для обработки возвратных импульсов, соответствующих излучаемым световым импульсам, для генерации точечная карта FOV.

Дальнейшее понимание природы и преимуществ обсуждаемых здесь вариантов осуществления может быть реализовано посредством ссылки на оставшиеся части описания и чертежей.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ

ФИГ.1-3 иллюстрируют примерную систему LiDAR, использующую импульсный сигнал для измерения расстояний до точек во внешней среде.

РИС. 4 изображает логическую блок-схему примерной системы LiDAR.

РИС. 5 изображает источник света примерной системы LiDAR.

РИС. 6 изображен световой детектор примерной системы LiDAR.

РИС. 7 изображает вариант осуществления системы управления сигналом, использующей один источник света и детектор.

РИС. 8А изображен другой вариант осуществления сигнальной системы управления.

РИС. 8B-8D показаны упрощенные альтернативные виды системы LiDAR, показанной на фиг. 8A согласно варианту осуществления.

РИС. 9A-9C изображают точечные карты разных дизайнов.

РИС. 9D показывает точечную карту, которая может быть создана с использованием системы LiDAR, показанной на фиг. 8B-8D согласно варианту осуществления.

РИС. 9E показывает иллюстративную цветовую карту апертуры, созданную системой LiDAR на фиг. 8B-8D согласно варианту осуществления.

РИС. 10A и 10B показывают упрощенные виды системы LiDAR согласно варианту осуществления.

РИС. 11A показывает точечную карту, которая может быть создана с использованием системы LiDAR согласно варианту осуществления.

РИС. 11B показывает иллюстративную цветовую карту апертуры, созданную системой LiDAR, согласно варианту осуществления.

РИС. 12A и 12B показаны иллюстративные виды сбоку и сверху соответственно системы LiDAR согласно варианту осуществления

Фиг. 13 показывает иллюстративную точечную карту, созданную с использованием системы LiDAR, показанной на фиг. 12A и 12B согласно варианту осуществления.

РИС.14 показывает иллюстративную точечную карту согласно варианту осуществления

Фиг. 15 показано изменяемое многогранное гальваническое зеркало согласно варианту осуществления

; фиг. 16A показывает точечную карту, которая может быть получена с использованием переменного многогранного гальванического зеркала согласно варианту осуществления.

РИС. 16B показывает иллюстративную цветовую карту апертуры, созданную системой LiDAR с использованием переменного многогранного гальванического зеркала, согласно варианту осуществления.

РИС. 17 показывает иллюстративную систему LiDAR согласно варианту осуществления.

РИС. 18 показывает иллюстративную блок-схему системы LiDAR согласно варианту осуществления.

РИС. 19 показывает иллюстративное поле зрения системы LiDAR согласно варианту осуществления.

ФИГ. 20A и 20B показано иллюстративное устройство многогранного зеркала, используемое в системе LiDAR 2000 согласно варианту осуществления.

РИС. 21A и 21B показаны соответствующие точечные карты и карта цветов апертуры.

ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ

Иллюстративные варианты осуществления теперь описаны более полно ниже со ссылкой на сопроводительные чертежи, на которых показаны характерные примеры.Действительно, раскрытые системы и способы LiDAR могут быть воплощены во многих различных формах, и их не следует рассматривать как ограниченные вариантами осуществления, изложенными в данном документе. Повсюду одинаковые номера относятся к одинаковым элементам.

В нижеследующем подробном описании с целью пояснения излагаются многочисленные конкретные детали, чтобы обеспечить полное понимание различных вариантов осуществления. Специалисты в данной области техники поймут, что эти различные варианты осуществления являются только иллюстративными и никоим образом не предназначены для ограничения.Другие варианты осуществления легко будут предложены таким специалистам в данной области техники, ознакомившимся с этим раскрытием.

Кроме того, для ясности показаны или описаны не все стандартные функции описанных здесь вариантов осуществления. Обычный специалист в данной области техники легко поймет, что при разработке любого такого фактического варианта осуществления могут потребоваться многочисленные решения, относящиеся к конкретному варианту осуществления, для достижения конкретных целей проектирования. Эти цели проектирования будут варьироваться от одного варианта реализации к другому и от одного разработчика к другому.Более того, следует понимать, что такая разработка может быть сложной и трудоемкой, но, тем не менее, будет рутинной инженерной задачей для специалистов в данной области техники, извлекающих выгоду из этого раскрытия.

Некоторые системы обнаружения и определения расстояния (LiDAR) используют один источник света для создания одного или нескольких световых сигналов с одной длиной волны, которые сканируют окружающую среду. Сигналы сканируются с помощью систем управления, которые направляют импульсы в одном или двух измерениях, чтобы покрыть область окружающей среды (область сканирования).Когда в этих системах используются механические средства для направления импульсов, сложность системы возрастает, поскольку требуется больше движущихся частей. Кроме того, в любой момент времени может быть испущен только один сигнал, поскольку два или более идентичных сигнала могут внести неоднозначность в возвращаемые сигналы. В некоторых вариантах осуществления настоящей технологии эти и / или другие недостатки преодолены.

Например, в некоторых вариантах осуществления настоящей технологии используется один или несколько источников света, которые производят световые сигналы с разными длинами волн и / или по разным оптическим путям.Эти источники света подают сигналы в систему управления сигналами под разными углами, так что области сканирования для световых сигналов различны (например, если два источника света используются для создания двух световых сигналов, область сканирования, связанная с каждым источником света, отличается ). Это позволяет настраивать сигналы на соответствующую мощность передачи и возможность иметь перекрывающиеся области сканирования, охватывающие сканирование на разных расстояниях. Кроме того, перекрывающиеся области сканирования позволяют создавать области с более высоким разрешением.Более длинные диапазоны можно сканировать с помощью сигналов, имеющих более высокую мощность и / или более низкую частоту повторения (например, при использовании импульсных световых сигналов). Более короткие диапазоны можно сканировать с помощью сигналов, имеющих более низкую мощность и / или высокую частоту повторения (например, при использовании импульсных световых сигналов) для увеличения плотности точек.

В качестве другого примера, в некоторых вариантах осуществления настоящей технологии используются системы управления сигналами с одним или несколькими дисперсионными элементами (например, решетками, оптическими гребенками, призмами и т.д.) для направления импульсных сигналов на основе длины волны импульса.Диспергирующий элемент может точно регулировать оптический путь импульса, что может быть затруднено или невозможно с механическими системами. Кроме того, использование одного или нескольких рассеивающих элементов позволяет системе управления сигналом использовать несколько механических компонентов для достижения желаемых возможностей сканирования. Это приводит к более простой, более эффективной (например, меньшей мощности) конструкции, которая потенциально более надежна (из-за небольшого количества движущихся компонентов).

Некоторые системы LiDAR используют время пролета световых сигналов (например,g., световые импульсы) для определения расстояния до объектов на пути света. Например, что касается фиг. 1, примерная система LiDAR , 100, включает в себя лазерный источник света (например, волоконный лазер), систему управления (например, систему из одного или нескольких движущихся зеркал) и детектор света (например, детектор фотонов с одним или еще оптика). Система LiDAR 100 передает световой импульс 102 по пути 104 , как определено системой рулевого управления системы LiDAR 100 .В изображенном примере световой импульс , 102, , который генерируется источником лазерного света, представляет собой короткий импульс лазерного света. Кроме того, система управления сигналами LiDAR-системы , 100, представляет собой систему управления импульсными сигналами. Однако следует понимать, что системы LiDAR могут работать, генерируя, передавая и обнаруживая световые сигналы, которые не являются импульсными, могут использоваться для определения дальности до объекта в окружающей среде с использованием методов, отличных от времени пролета. Например, в некоторых системах LiDAR используются непрерывные волны с частотной модуляцией (т.е.е., «FMCW»). Кроме того, следует понимать, что любой из методов, описанных в данном документе в отношении систем на основе времени пролета, которые используют импульсы, также может быть применим к системам LiDAR, которые не используют один или оба этих метода.

Возвращаясь к фиг. 1 (времяпролетная система LiDAR, использующая световые импульсы), когда световой импульс 102 достигает объекта 106 , световой импульс 102 рассеивается, а возвращенный световой импульс 108 будет отражен обратно в систему 100 вдоль путь 110 .Время от момента, когда прошедший световой импульс 102 покидает систему LiDAR 100 , до момента, когда возвращенный световой импульс 108 возвращается обратно в систему LiDAR 100 , может быть измерено (например, процессором или другой электроникой в ​​системе LiDAR). Это время полета в сочетании со знанием скорости света можно использовать для определения дальности / расстояния от системы LiDAR 100 до точки на объекте 106 , где световой импульс 102 рассеивается.

Направляя множество световых импульсов, как показано на фиг. 2, система LiDAR 100 сканирует внешнюю среду (например, направляя световые импульсы 102 , 202 , 206 , 210 по траекториям 104 , 204 , 208 , 212 , соответственно). Как показано на фиг. 3, система LiDAR 100 принимает возвращенные световые импульсы 108 , 302 , 306 (которые соответствуют прошедшим световым импульсам 102 , 202 , 210 , соответственно) обратно после объектов 106 и 214 рассеивают импульсы прошедшего света и отражают импульсы обратно по путям 110 , 304 , 308 соответственно.На основе направления проходящих световых импульсов (как определено системой LiDAR 100 ), а также расчетного расстояния от системы LiDAR 100 до точек на объектах, которые рассеивают световые импульсы (например, точек на объектах 106 и , 214, ), окружение в пределах диапазона обнаружения (например, поле обзора между путем , 104, и , 212, , включительно) может быть точно нанесено на график (например, может быть создано облако точек или изображение).

Если соответствующий световой импульс не получен для конкретного переданного светового импульса, то можно определить, что нет объектов, которые могут рассеивать достаточное количество сигнала для светового импульса LiDAR в определенном диапазоне системы LiDAR 100 ( например, максимальное расстояние сканирования системы LiDAR 100 ). Например, на фиг. 2, световой импульс , 206, не будет иметь соответствующего возвращенного светового импульса (как изображено на фиг. 3), потому что он не вызвал события рассеяния вдоль его пути передачи , 208, в пределах заранее определенного диапазона обнаружения.Система LiDAR 100 (или внешняя связь системы с системой LiDAR 100 ) может интерпретировать это как отсутствие объекта на пути 208 в пределах диапазона обнаружения системы LiDAR 100 .

На ФИГ. 2, прошедшие световые импульсы 102 , 202 , 206 , 210 могут передаваться в любом порядке, последовательно, параллельно или на основе других моментов времени относительно друг друга. Кроме того, хотя фиг. 2 изображает одномерный массив прошедших световых импульсов, система LiDAR , 100, необязательно также направляет аналогичные массивы прошедших световых импульсов по другим плоскостям, так что передается двумерный массив световых импульсов.Этот двумерный массив может передаваться по пунктам, по строкам, сразу или каким-либо другим способом. Облако точек или изображение из одномерного массива (например, одна горизонтальная линия) будет производить двухмерную информацию (например, (1) направление горизонтальной передачи и (2) расстояние до объектов). Облако точек или изображение из двумерного массива будет иметь трехмерную информацию (например, (1) направление горизонтальной передачи, (2) направление вертикальной передачи и (3) расстояние до объектов).

Плотность точек в облаке точек или изображении из системы LiDAR 100 равна количеству импульсов, деленному на поле зрения. Учитывая, что поле зрения фиксировано, для увеличения плотности точек, генерируемых одним комплектом приемопередающей оптики, система LiDAR должна генерировать импульс чаще, другими словами, необходим источник света с более высокой частотой повторения. Однако при более частой посылке импульсов самое дальнее расстояние, которое может обнаружить система LiDAR, может быть более ограниченным.Например, если возвращенный сигнал от удаленного объекта получен после того, как система передает следующий импульс, ответные сигналы могут быть обнаружены в порядке, отличном от порядка, в котором передаются соответствующие сигналы, и смешиваются, если система не может правильно коррелируют возвращенные сигналы с переданными сигналами. Для иллюстрации рассмотрим примерную систему LiDAR, которая может передавать лазерные импульсы с частотой повторения от 500 кГц до 1 МГц. В зависимости от времени, необходимого для возврата импульса в систему LiDAR и во избежание смешивания возвращенных импульсов с последовательными импульсами в традиционной конструкции LiDAR, самое дальнее расстояние, которое может обнаружить система LiDAR, может составлять 300 метров и 150 метров для 500 кГц. и 1 МГц соответственно.Плотность точек системы LiDAR с частотой повторения 500 кГц вдвое меньше, чем при 1 МГц. Таким образом, этот пример демонстрирует, что, если система не может правильно коррелировать возвращенные сигналы, которые поступают не по порядку, увеличение частоты повторения с 500 кГц до 1 МГц (и, таким образом, повышение плотности точек системы) значительно уменьшит дальность обнаружения система.

РИС. 4 изображена логическая блок-схема системы LiDAR 100 , которая включает в себя источник света 402 , систему управления сигналами 404 , детектор импульсов 406 и контроллер 408 .Эти компоненты соединяются вместе с помощью каналов связи 410 , 412 , 414 , 416 и 418 . Эти каналы связи представляют собой связь (двунаправленную или однонаправленную) между различными компонентами системы LiDAR, но не обязательно должны быть физическими компонентами. Хотя пути связи могут быть реализованы с помощью одного или нескольких электрических проводов, шин или оптических волокон, пути связи также могут быть беспроводными каналами или открытыми оптическими путями, так что физическая среда связи отсутствует.Например, в одной примерной системе LiDAR канал связи , 410, представляет собой одно или несколько оптических волокон, канал связи , 412, представляет собой оптический путь, а каналы связи 414 , 416 , 418 и 420 все это один или несколько электрических проводов, по которым передаются электрические сигналы. Каналы связи также могут включать в себя более одного из вышеупомянутых типов сред связи (например, они могут включать в себя оптическое волокно и оптический путь или одно или несколько оптических волокон и один или несколько электрических проводов).

Система LiDAR 100 также может включать в себя другие компоненты, не изображенные на фиг. 4, таких как силовые шины, источники питания, светодиодные индикаторы, переключатели и т. Д. Кроме того, могут присутствовать другие соединения между компонентами, такие как прямое соединение между источником света , 402, и детектором света , 406, , так что детектор света 406 может точно измерить время от момента, когда источник света , 402, передает световой импульс, до тех пор, пока световой детектор , 406, не обнаружит возвращенный световой импульс.

РИС. 5 изображает логическую блок-схему одного примера источника света , 402, , который основан на волоконном лазере, хотя любое количество источников света с изменяющейся архитектурой может использоваться как часть системы LiDAR. Источник света 402 использует начальное число 502 для генерации начальных световых импульсов одной или нескольких длин волн (например, 1550 нм), которые подаются на мультиплексор с разделением по длине волны (WDM) 504 через оптоволокно 503 . Насос 506 также подает мощность лазера (с другой длиной волны, например, 980 нм) на WDM 504 по оптоволокну 505 .Выходной сигнал WDM 504 подается на предварительные усилители 508 (который включает в себя один или несколько усилителей), который передает свой выходной сигнал на сумматор 510 через оптоволокно 509 . Объединитель 510 также принимает мощность лазера от накачки 512 по оптоволокну 511 и подает импульсы через оптоволокно 513 на усилитель 514 , который генерирует выходные световые импульсы по оптоволокну 410 . Затем выведенные световые импульсы поступают в систему рулевого управления , 404, .В некоторых вариантах источник света , 402, может создавать импульсы различной амплитуды на основе профиля усиления волокна, используемого в источнике. Канал связи , 416, связывает источник света , 402, с контроллером , 408, (фиг. 4), так что компоненты источника света , 402, могут управляться контроллером , 408, или иным образом связываться с ним. В качестве альтернативы, источник света , 402, может включать в себя собственный контроллер. Вместо контроллера , 408, , напрямую связывающегося с компонентами источника света , 402, , выделенный контроллер источника света связывается с контроллером , 408, и управляет и / или взаимодействует с компонентами источника света , 402, .Источник света , 402, также включает в себя другие компоненты, которые не показаны, такие как один или несколько разъемов питания, источники питания и / или линии питания.

Некоторые другие источники света включают в себя один или несколько лазерных диодов, волоконных лазеров с коротким резонатором, твердотельных лазеров и / или перестраиваемых диодных лазеров с внешним резонатором, сконфигурированных для генерации одного или нескольких световых сигналов на различных длинах волн. В некоторых примерах источники света используют усилители (например, предусилители или усилители-усилители), включая усилитель на легированном оптоволокне, твердотельный объемный усилитель и / или полупроводниковый оптический усилитель, сконфигурированный для приема и усиления световых сигналов.

Возвращаясь к РИС. 4, система управления сигналами , 404, включает в себя любое количество компонентов для сигналов управления светом, генерируемых источником света , 402, . В некоторых примерах система управления сигналами , 404, может включать в себя один или несколько элементов оптического перенаправления (например, зеркала или линзы), которые направляют световые импульсы (например, путем вращения, вибрации или направления) вдоль пути передачи для сканирования внешней среды. Например, эти оптические элементы перенаправления могут включать в себя зеркала MEMS, зеркала с вращающимся многогранником или стационарные зеркала для направления передаваемых импульсных сигналов в разных направлениях.Система управления сигналом 404 дополнительно может включать в себя другие оптические компоненты, такие как дисперсионная оптика (например, линзы рассеивателя, призмы или решетки) для дальнейшего расширения охвата передаваемого сигнала с целью увеличения передачи системы LiDAR 100 . площадь (т.е. поле зрения). Пример системы управления сигналами описан в публикации заявки на патент США № 2018/0188355, озаглавленной «2D-сканирование высокоточного лидара с использованием комбинации вращающегося вогнутого зеркала и устройств управления лучом», содержание которой полностью включено в настоящий документ посредством ссылки для все цели.В некоторых примерах система управления сигналами , 404, не содержит никаких активных оптических компонентов (например, не содержит никаких усилителей). В некоторых других примерах один или несколько компонентов из источника , 402, света, таких как усилитель, могут быть включены в систему управления сигналами , 404, . В некоторых случаях сигнальная система управления 404 может считаться головкой LiDAR или сканером LiDAR.

Некоторые реализации систем управления сигналами включают в себя один или несколько элементов оптического перенаправления (например,g., зеркала или линзы), который направляет возвращенные световые сигналы (например, путем вращения, вибрации или направления) по пути приема, чтобы направить возвращенные световые сигналы к световому датчику. Элементы оптического перенаправления, которые направляют световые сигналы по трактам передачи и приема, могут быть одними и теми же компонентами (например, совместно используемыми), отдельными компонентами (например, выделенными) и / или комбинацией общих и отдельных компонентов. Это означает, что в некоторых случаях пути передачи и приема различаются, хотя они могут частично перекрываться (или в некоторых случаях существенно перекрываться).

РИС. 6 изображает логическую блок-схему одного возможного расположения компонентов в светоприемнике 404 системы LiDAR 100 (фиг. 4). Детектор света 404 включает в себя оптику 604 (например, систему из одной или нескольких оптических линз) и детектор 602 (например, устройство с зарядовой связью (CCD), фотодиод, лавинный фотодиод, вакуумную трубку фотоумножителя, датчик изображения и т. д.), который подключен к контроллеру 408 (ФИГ.4) по каналу связи 418 . Оптика , 604, может включать в себя одну или несколько фотообъективов для приема, фокусировки и направления возвращенных сигналов. Детектор света , 404, может включать в себя фильтры для выборочного пропускания света определенных длин волн. Детектор света , 404, может также включать в себя схему синхронизации, которая измеряет время от момента передачи импульса до момента обнаружения соответствующего возвращенного импульса. Затем эти данные могут быть переданы контроллеру 408 (ФИГ.4) или к другим устройствам по линии связи 418 . Детектор света , 404, также может получать информацию о том, когда источник света 402 передал световой импульс по линии связи , 418, или другим линиям связи, которые не показаны (например, оптическое волокно от источника света , 402, , которое измеряет прошедший свет. импульсы). В качестве альтернативы, детектор света , 404, может подавать сигналы через линию связи , 418, , которые указывают, когда обнаруживаются возвращенные световые импульсы.Также могут передаваться другие данные импульса, такие как мощность, форма импульса и / или длина волны.

Возвращаясь к РИС. 4, контроллер , 408, содержит компоненты для управления системой LiDAR , 100, и связи с внешними устройствами, которые используют систему. Например, контроллер 408 необязательно включает в себя один или несколько процессоров, памяти, интерфейсов связи, датчиков, запоминающих устройств, часов, ASIC, FPGA и / или других устройств, которые управляют источником света 402 , системой управления сигналами 404 , и / или детектор света 406 .В некоторых примерах контроллер , 408, управляет мощностью, скоростью, синхронизацией и / или другими свойствами световых сигналов, генерируемых источником света , 402, ; управляет скоростью, направлением передачи и / или другими параметрами системы легкого рулевого управления , 404, ; и / или управляет чувствительностью и / или другими параметрами светового детектора , 406, .

Контроллер 408 опционально также сконфигурирован для обработки данных, полученных от этих компонентов. В некоторых примерах контроллер определяет время, которое проходит от передачи светового импульса до получения соответствующего возвращенного светового импульса; определяет, когда возвращенный световой импульс не принимается для прошедшего светового импульса; определяет передаваемое направление (например,g., горизонтальная и / или вертикальная информация) для переданного / отраженного светового импульса; определяет предполагаемую дальность в определенном направлении; и / или определяет любые другие типы данных, относящиеся к системе LiDAR 100 .

РИС. 7 изображает вариант осуществления системы управления сигналами (например, система управления сигналами , 404, на фиг. 4) согласно некоторым вариантам осуществления настоящей технологии. Многоугольник 702 имеет десять отражающих сторон (стороны 702 A- 702 E видны на фиг.7), но может иметь любое количество отражающих сторон. Например, другие примеры многоугольника 702 имеют 6, 8 или 20 сторон). Многоугольник 702 вращается вокруг оси 703 на основе приводного двигателя (не показан) для сканирования сигналов, поступающих от источника света (например, через выход 706 , который подключен к источнику света, например, к источнику света 402 ). описано выше) в направлении, перпендикулярном или под ненулевым углом к ​​оси вращения 703 .

Зеркальный гальванометр 704 расположен рядом с многоугольником 702 , так что один или несколько сигналов, излучаемых с выхода источника света 706 (например,g., конец волокна) отражаются от зеркального гальванометра 704 и на вращающийся многоугольник 702 . Зеркальный гальванометр 704 наклоняется, чтобы сканировать один или несколько сигналов с выхода 706 в направлении, отличном от направления, в котором многоугольник 702 сканирует сигналы В некоторых примерах многоугольник 702 отвечает за сканирование одного или нескольких сигналов в Горизонтальное направление системы LiDAR и зеркального гальванометра , 704, отвечает за сканирование одного или нескольких сигналов в вертикальном направлении.В некоторых других примерах многоугольник , 702, и зеркальный гальванометр , 704, имеют обратную конфигурацию. Хотя пример на фиг. 7 использует зеркальный гальванометр, вместо него можно использовать другие компоненты. Например, можно использовать одно или несколько вращающихся зеркал или решетку (с импульсами разной длины волны). Сплошная черная линия представляет собой один пример пути прохождения сигнала через систему управления сигналами.

Свет, возвращаемый от рассеяния сигнала (например, когда свет падает на объект) в области 708 (обозначен пунктирными линиями) возвращается во вращающийся многоугольник 702 , отражается обратно в зеркальный гальванометр 704 и фокусируется линзой 710 на детектор 712 .Хотя линза , 710, изображена как одна линза, в некоторых вариантах она представляет собой систему из одной или нескольких оптических систем.

РИС. 8A изображает систему, аналогичную изображенной на фиг. 7, за исключением того, что добавлен второй источник света, который выдает один или несколько сигналов с выхода , 714, . Источник света для выхода 714 может быть таким же или отличаться от источника света для выхода 706 , а свет, передаваемый выходом 714 , может иметь ту же или другую длину волны, что и свет, передаваемый выходом 706 .Использование нескольких источников света может увеличить плотность точек на карте точек без ущерба для максимального однозначного диапазона обнаружения системы. Например, световой выход , 714, может быть расположен так, чтобы пропускать свет под другим углом, чем выход , 706, . Из-за разных углов свет, передаваемый от источника , 706, света, направляется в область, отличную от света, передаваемого с выхода , 714, . Пунктирной линией показан пример прохождения импульсов для импульсов, излучаемых с выхода 714 .Следовательно, один или несколько объектов, расположенных в двух разных областях внутри региона, могут рассеивать и возвращать свет в систему LiDAR. Например, область , 716, (пунктирная / двойная пунктирная линия) указывает область, из которой отраженные сигналы рассеянных сигналов возвращаются в систему LiDAR. Возвращенный свет отражается от многоугольника 702 и зеркального гальванометра 704 и фокусируется на детекторах 712 и 718 линзой 710 . Детекторы 712 и 718 каждый может быть настроен для приема отраженного света от одного из выходов , 706, и , 714, , и такая конфигурация может быть достигнута путем точного управления положением детекторов , 712, и 718, . а также длину волны проходящего света.Обратите внимание, что одна и та же линза (или оптическая система) может использоваться для обоих детекторов 712 и 718 . Смещение между выходами 706 и 714 означает, что свет, возвращаемый в систему LiDAR, будет иметь аналогичное смещение. Путем правильного позиционирования детекторов , 712, и , 718, на основе относительного позиционирования их соответствующих выходов источников света (например, соответствующих положений выходов , 706, и , 714, ) и, необязательно, путем правильного управления длиной (ами) волн проходящий свет, возвращенный свет будет должным образом сфокусирован на правильных детекторах, и каждый полученный свет может быть точкой на карте точек.Каждый полученный световой импульс можно интерпретировать как точку в трехмерном пространстве. Следовательно, по сравнению с системой только с одним выходом , 706, , система с двумя выходами может поддерживать одинаковую частоту повторения импульсов и выдавать вдвое больше точек или уменьшать частоту повторения импульсов вдвое и при этом производить то же количество точек. В качестве неограничивающего примера, система с двумя световыми выходами может снизить частоту следования импульсов с 1 МГц до 500 кГц, тем самым увеличивая максимальную дальность однозначного обнаружения со 150 до 300 метров без ущерба для плотности точек результирующей карты точек.Предполагается и раскрывается частота повторения импульсов от 200 кГц до 2 МГц.

РИС. 8B-8D показаны упрощенные альтернативные виды системы LiDAR, показанной на фиг. 8A согласно варианту осуществления. В частности, фиг. 8B и 8C показаны иллюстративные виды сверху, а на фиг. 8D показан иллюстративный вид сбоку. Как показано, многоугольник 810 имеет шесть граней 811 816 , а зеркальный гальванометр 820 имеет одну грань. Зеркало 820 вращается вокруг оси вращения зеркала 825 .Зеркало 820 выровнено так, что параллельно оси вращения 825 . То есть плоская поверхность зеркала , 820, параллельна оси вращения зеркала , 825, . Угол наклона определяется как угол между плоской поверхностью зеркала и осью вращения. Когда плоская грань и ось вращения параллельны друг другу, угол перекоса равен нулю (0). Два световых луча , 830, и , 832, показаны исходящими из своих соответствующих источников (не показаны), сначала взаимодействуя с зеркальным гальванометром 820 , а затем взаимодействуя с многоугольником 810 , который перенаправляет световые лучи в поле обзора.В зависимости от ориентации вращения многоугольника , 810, , световые лучи , 830, и , 832, могут взаимодействовать с одним и тем же фасетом (как показано на фиг. 8C) или двумя или более фасетами (как показано на фиг. 8B). Одновременное взаимодействие с несколькими гранями может увеличить поле обзора системы LiDAR, однако точечные карты, полученные из такой конфигурации зеркала многоугольника / гальванометра, могут включать в себя кривизну, такую ​​как показанная, например, на фиг. 9A-9D, ниже.

РИС.9A изображает точечную карту из первого проекта. Эта конструкция имеет два канала (например, два выхода источника света и два световых детектора), расположенных таким образом, что выходящие лучи имеют угол между ними 8 градусов. Отсканированный рисунок перекрывается по вертикали. Диапазон сканирования составляет + -56 градусов по горизонтали и + 12 ~ -20 градусов по вертикали.

РИС. 9B изображает точечную карту из второго дизайна. Эта конструкция имеет два канала (например, два выхода источников света и два световых детектора), расположенных таким образом, что выходящие лучи имеют угол между ними 6 градусов.Отсканированный шаблон имеет перекрытие по горизонтали (+ -45 градусов). Диапазон сканирования составляет + -67 градусов по горизонтали и + 12 ~ -20 градусов по вертикали.

Выходящие лучи двух каналов не обязательно разделять под определенным углом (например, 6 градусов на фиг. 9B), чтобы получить больший горизонтальный диапазон. Горизонтальное смещение существующих балок можно использовать для расширения горизонтального диапазона. Например, два выходных луча могут быть направлены под одним углом, но смещены друг относительно друга в одной плоскости.Из-за этих разных положений каждый канал отражается разными частями многоугольника и, следовательно, охватывает другой горизонтальный диапазон. За счет объединения двух каналов общий горизонтальный диапазон увеличивается.

РИС. 9C изображает точечную карту из третьего проекта. Эта конструкция имеет три канала (например, три выхода источника света и три световых детектора) для увеличения плотности точек. Около 2,88 миллиона точек в секунду можно получить, используя 3 наконечника волокна и 3 детектора. Разрешение можно дополнительно уменьшить до 0.07 градусов в обоих направлениях. Скорость многоугольника можно снизить до 6000 об / мин.

РИС. 9D показывает точечную карту, которая может быть создана с использованием системы LiDAR, показанной на фиг. 8B-8D согласно варианту осуществления. Как показано, точечная карта показывает, что захватывается относительно большой угол обзора (например, приблизительно от -100 до +100 градусов) с присутствующей кривизной. ИНЖИР. 9E показывает иллюстративную цветовую карту апертуры, созданную системой LiDAR на фиг. 8Б-8Д. Апертура относится к площади или поперечному сечению приемной оптики и пропорциональна передаваемой световой энергии, которая принимается и регистрируется.

РИС. 10A и 10B показаны упрощенные виды LiDAR-системы , 1000, согласно варианту осуществления. Система LiDAR 1000 включает многоугольник 1010 , который включает грани 1011 1016 , и одностороннее зеркало 1020 . Зеркало 1020 имеет такие размеры, что оно способно отражать световые лучи, которые одновременно взаимодействуют с тремя разными гранями многоугольника 1010 (как показано на фиг. 10B). Зеркало 1020 вращается вокруг оси вращения зеркала 1025 .Зеркало 1020 выровнено так, что его плоская поверхность параллельна оси вращения 1025 , в результате получается угол перекоса 0 . Три лазерных луча 1031 1033 показаны взаимодействующими с зеркалом 1020 , которое перенаправляет лучи 1031 1033 на грани 1011 1013 соответственно.

РИС. 11A показывает точечную карту, которая может быть создана с использованием системы LiDAR , 1000, , согласно варианту осуществления.Как показано, точечная карта показывает, что захватывается относительно большой угол обзора (например, приблизительно от -140 до +140 градусов), но присутствует значительная кривизна. ИНЖИР. 11B показывает иллюстративную цветовую карту апертуры, созданную системой LiDAR 1000 .

В описанных здесь вариантах осуществления используется многогранное зеркало для создания более желательного профиля точечной карты. Характеристики более желательной точечной карты включают точечные карты, которые не имеют чрезмерного изгиба и имеют относительно плоский профиль. В некоторых вариантах осуществления желаемая точечная карта может иметь прямоугольную или квадратную форму.Также желательно создать точечную карту, которая захватывает широкое поле зрения, например, в горизонтальной ориентации слева направо или справа налево.

РИС. 12A и 12B показаны иллюстративные виды сбоку и сверху соответственно системы LiDAR , 1200, , согласно варианту осуществления. Лидарная система 1200 может включать многогранный многоугольник 1210 , который вращается вокруг оси вращения 1215 , и многогранное зеркало гальванометра 1220 . Четыре световых луча 1231 1234 показаны взаимодействующими с многогранным зеркалом гальванометра 1220 и многоугольником 1210 .Зеркало многогранного гальванометра 1220 поворачивается вокруг одной оси вращения 1225 . Показано, что многогранное зеркало гальванометра , 1220, включает две грани , 1221, и , 1222, , хотя следует понимать, что можно использовать три или более граней. Грани , 1221, и , 1222, могут быть соединены с общей конструкцией (не показана), которая соединена с подвижным элементом (например, двигателем), так что, когда подвижный элемент изменяет положение общей конструкции, грани 1221 и 1222 оба движутся в унисон.Грани , 1221, и , 1222, расположены бок о бок (как показано на фиг. 12B) с фиксированным расстоянием между ними (как показано), или грани , 1221, и , 1222, могут находиться в прямом контакте друг с другом. Кроме того, грани , 1221, и , 1222, расположены так, что их соответствующие грани не параллельны друг другу и не параллельны оси вращения зеркала , 1225, . Другими словами, угол наклона a существует между плоской поверхностью каждой из граней , 1221, и , 1222, и осью вращения зеркала , 1225, , где a не равно 0 градусов.В некоторых вариантах осуществления угол α может быть фиксированным как острый угол или тупой угол. В других вариантах осуществления угол α может изменяться, что позволяет граням , 1221, и , 1222, перемещаться относительно друг друга. В этом варианте осуществления с переменным углом грани , 1221, и , 1222, могут перемещаться, например, «бабочка». Варианты осуществления с переменным углом более подробно обсуждаются ниже.

Создание более желательной точечной карты с использованием многогранного зеркала гальванометра может учитывать множество различных соображений.Сначала обсуждаются соображения, относящиеся к многоугольнику 1210 . Многоугольник 1210 может иметь любое количество граней. Конструкция и ориентация каждой грани могут быть такими, что угол граней многоугольника относительно оси вращения 1215 устанавливается равным определенному углу, показанному как g. Многоугольник 1210 вращается вокруг оси вращения 1215 с одной или несколькими заранее заданными скоростями. Угол наклона, обозначенный буквой b, может существовать между осью вращения , 1215, и вертикальной осью (гравитационной).

Теперь обсуждаются соображения, относящиеся к зеркалу 1220 . Положение оси вращения зеркала 1225 относительно многоугольника 1210 является фактором. Расположение фасетов 1221 и 1222 относительно многоугольника 1210 является фактором. Например, на фиг. 12B, грани , 1221, и , 1222, центрированы относительно угла 0 градусов вдоль оси Y. При желании фасеты , 1221, и , 1222, могут быть перемещены для смещения влево или вправо от поля зрения.Угол наклона, который представляет собой угол граней 1221 и 1222 относительно оси вращения зеркала 1225 , является еще одним фактором, которым можно управлять. В «нормальном» случае, когда одно фасеточное зеркало параллельно оси вращения, угол перекоса равен 0. Как показано на фиг. 12В, грани , 1221, и , 1222, не параллельны оси вращения зеркала , 1225, и, таким образом, имеют наклонный угол, отличный от нуля.

Еще одним фактором, влияющим на точечную карту, является количество используемых лазерных лучей.Это включает угол луча и точку запуска каждого лазерного луча. В некоторых вариантах реализации лазерные лучи могут быть симметрично распределены по зеркалу , 1220, . Например, если имеется четыре луча, два луча могут проецироваться на грань 1221 , а два луча могут проецироваться на грань 1222 . В других вариантах реализации лазерные лучи могут асимметрично распределяться по 1220 . Например, если имеется четыре луча, три луча могут проецироваться на фасет 1221 , а один луч может проецироваться на фасет 1222 .Любое из приведенных выше соображений может быть изменено для создания желаемой точечной карты.

РИС. 13 показывает иллюстративную точечную карту 1300 , которая создается с использованием системы LiDAR 1200 согласно варианту осуществления. ИНЖИР. 13 показывает иллюстративный угол луча и точки запуска, угол наклона b, угол фаски g, положение оси вращения гальванического зеркала, показанное Xm и Ym, и угол перекоса. ИНЖИР. 14 показывает иллюстративную точечную карту 1400 , которая создается с использованием системы LiDAR 1200 согласно варианту осуществления.Точечная карта 1400 создается с использованием угла наклона b, отличного от угла наклона, используемого для создания точечной карты 1300 .

РИС. 15 показано изменяемое многогранное гальваническое зеркало , 1500, , согласно варианту осуществления. В частности, фиг. 15 показывает, что угол перекоса изменяется со временем. В частности, в момент времени t 1 угол перекоса равен x, затем в момент времени t 2 угол перекоса равен y, а в момент времени t 3 угол перекоса равен в z, где x> y> z.Обе грани зеркала 1500 вращаются вдоль оси вращения зеркала 1505 , но угол перекоса является переменным. В некоторых вариантах осуществления углом наклона можно управлять независимо от угла поворота зеркала 1500, вдоль его оси вращения 1505 . В некоторых вариантах осуществления угол наклона может линейно зависеть от угла поворота зеркала 1500 вдоль оси вращения зеркала 1505 . Например, угол перекоса может быть установлен равным A +/- (C * ϕ), где A — постоянная угла перекоса, C — коэффициент умножения, а ϕ — угол поворота зеркала вокруг оси гальванического зеркала.

Хотя не показано на фиг. 15, следует понимать, что угол перекоса может изменяться с положительного угла перекоса на отрицательный угол перекоса или наоборот (и проходить через нулевой угол перекоса). Также следует понимать, что каждая грань может управляться независимо, чтобы иметь свой собственный управляемый угол перекоса. Например, из двух граней, показанных на фиг. 15, угол перекоса одной грани может быть изменен независимо от угла перекоса другой грани. Преимущество независимого управления углом наклона каждой грани состоит в том, что он может обеспечить динамическое управление точечной картой.

РИС. 16A показывает точечную карту, которая может быть создана с использованием переменного многогранного гальванического зеркала , 1500, , согласно варианту осуществления. Как показано, точечная карта показывает, что захватывается относительно прямоугольный FOV. ИНЖИР. 16B показывает иллюстративную цветовую карту апертуры, созданную системой LiDAR с использованием переменного многогранного гальванического зеркала 1500 . ИНЖИР. 16B показывает, что две отдельные апертуры относительно высокой интенсивности существуют примерно под -40 градусов и под +40 градусов по горизонтальному углу.

РИС. 17 показывает иллюстративную систему LiDAR 1700 согласно варианту осуществления. Система 1700 включает многоугольник 1710 и трехгранное зеркало 1720 , которое вращается вокруг оси вращения 1725 . Трехгранное зеркало 1720 включает грани 1721 1723 . Фасетка 1722 параллельна оси вращения 1725 и, таким образом, имеет нулевой угол перекоса. Грани 1721 и 1723 не параллельны оси вращения 1725 и имеют соответствующие углы перекоса α 1 и α 2 .В одном варианте осуществления углы перекоса α 1 и α 2 могут быть фиксированными. В другом варианте осуществления углы наклона и α 2 могут быть переменными. В качестве конкретного примера можно совместно управлять изменчивостью углов перекоса α 1 и α 2 , так что at всегда равно α 2 . В качестве другого конкретного примера можно независимо управлять углами перекоса α 1 и α 2 , так что α 1 не является обязательным, так же как α 2 .

РИС. 18 показывает иллюстративную блок-схему LiDAR-системы , 1800, , согласно варианту осуществления. Система LiDAR 1800 может включать в себя лазерную подсистему 1810 , систему приемника 1820 , систему управления лучом 1830 и контроллер 1860 . Лазерная подсистема , 1810, может включать в себя лазерный источник , 1812, и контроллер угла луча , 1814, . Система приемника , 1820, может включать в себя оптику, детекторы и другие компоненты (все не показаны).Система поворота луча 1830 может включать многогранную зеркальную систему 1840 и многоугольную систему 1850 . Система зеркал 1840 может включать в себя многогранное зеркало 1842 , механизм поворота зеркала 1844 и механизм управления углом наклона 1846 . Система многоугольников 1850 может включать многоугольник 1852 и управление осью вращения 1854 . Контроллер 1860 может включать в себя модуль частоты повторения 1862 , модуль интересующего диапазона (ROI) 1864 , модуль угла наклона 1866 , модуль угла луча 1868 , модуль управления многогранным зеркалом (MFM) 1870 , и модуль наклона оси вращения 1872 .Система LiDAR , 1800, может находиться в одном или нескольких корпусах. В вариантах реализации с несколькими корпусами по меньшей мере один из корпусов может представлять собой среду с регулируемой температурой, в которой содержатся отдельные части системы LiDAR 1800 (например, лазерный источник 1812 и контроллер 1860 ).

Лазерная подсистема 1810 может включать в себя лазерный источник 1812 и контроллер угла луча 1814 . Лазерная подсистема , 1810, предназначена для направления световой энергии в систему управления лучом 1830 , которая направляет световую энергию в поле зрения системы LiDAR.Лазерный источник , 1812, может служить единственным источником световой энергии, но световая энергия может быть разделена на N лучей с использованием любой подходящей техники или механизма разделения луча. Каждый луч может быть расположен в системе , 1800, , чтобы иметь определенный угол луча и конкретную точку запуска. Угол луча и точка запуска могут влиять на точечную карту, созданную при использовании вместе с системой управления лучом 1830 . В некоторых вариантах осуществления угол луча и точка запуска могут быть фиксированными.В других вариантах осуществления угол луча и / или точка запуска для каждого луча может изменяться и может управляться контроллером угла луча , 1814, . Например, контроллер угла луча , 1814, может иметь возможность регулировать угол одного или нескольких лучей на основе входных данных, предоставляемых модулем угла луча 1868 в контроллере 1860 .

Лазерный источник , 1812, может управлять частотой повторения, с которой излучается световая энергия в ответ на управление, обеспечиваемое модулем частоты повторения 1862 .Частота повторения относится к скорости, с которой последовательные световые импульсы излучаются лазерным источником 1812 . В некоторых вариантах осуществления частота повторения может оставаться фиксированной. В других вариантах осуществления частота повторения может варьироваться. Вариация частоты повторения может быть основана на ряде различных факторов, включая, например, желаемое разрешение карты точек или одну или несколько областей интереса в пределах FOV, скорость движения многогранного зеркала, скорость движения многоугольника, ось наклона, перекос. угол и любые другие подходящие критерии.Скорость движения многогранного зеркала может относиться к скорости вращения многогранного зеркала 1842 . Скорость движения многоугольника может относиться к скорости вращения многоугольника 1850 . Ось наклона может относиться к разнице между осью вращения многоугольника , 1850, и гравитационной осью.

Многогранное зеркало 1842 может перемещаться под направлением механизма поворота зеркала 1844 и дополнительно под управлением механизма управления углом наклона 1846 .Многогранное зеркало 1842 служит для перенаправления световых лучей, исходящих от лазерного источника 1812 , на многоугольник 1852 . Кроме того, многогранное зеркало , 1842, служит для перенаправления отраженных импульсов, полученных через многоугольник 1852 , в систему приемника 1820 . В одном варианте осуществления механизм поворота зеркала , 1844, может быть двигателем, который соединен с многогранным зеркалом , 1842, . Многогранное зеркало 1842 может вращаться вокруг своей оси вращения под управлением MFM-элемента управления 1870 .В вариантах осуществления, где угол перекоса многогранного зеркала , 1842, фиксирован, механизм управления углом перекоса 1846 не используется. В вариантах осуществления, где угол наклона многогранного зеркала , 1842, является переменным, может использоваться механизм управления углом наклона , 1846, . Модуль угла наклона , 1866, может управлять углом наклона, давая команду механизму управления углом наклона , 1846, . Механизм , 1846, управления углом наклона может управлять углом наклона независимо от поворота или в зависимости от поворота многогранного зеркала , 1842, .Если многогранное зеркало , 1842, имеет несколько углов наклона, механизм управления углом наклона , 1846, может осуществлять независимое управление над каждым углом наклона. Механизм 1846 управления углом перекоса может использовать механические рычаги для управления положением угла перекоса. Например, механическая связь может быть винтовой, реечной или шариковинтовой. В некоторых вариантах осуществления рычажный механизм может быть напрямую привязан к механизму поворота зеркала , 1844, , так что угол перекоса зависит от положения поворота зеркала вдоль его оси вращения.

Многоугольник 1852 вращается под управлением оси вращения 1854 и действует для направления световой энергии, полученной от зеркала 1842 , в поле обзора системы LiDAR 1800 . Управление осью вращения 1854 может управлять скоростью, с которой многоугольник 1852 вращается под управлением модуля управления MFM 1870 . Управление осью вращения 1854 может также регулировать угол наклона многоугольника 1852 под управлением модуля управления MFM 1870 .

Контроллер 1860 предназначен для управления работой системы LiDAR 1800 . Контроллер , 1860, может контролировать, куда в пределах поля зрения направляются световые импульсы, и может обрабатывать возвратные импульсы для заполнения точечной карты, которая может использоваться другой системой, такой как, например, автономный автомобиль. Модули (например, модули 1862 , 1864 , 1866 , 1868 , 1870 и 1872 ) могут нести ответственность за управление точечными картами, созданными с помощью системы 1800 .Некоторые модули могут быть взаимозависимыми, тогда как другие модули могут работать независимо от других. Модули могут включать в себя обратную связь в реальном времени о производительности точечной карты, чтобы вносить необходимые корректировки, например, в частоту повторения, скорость вращения зеркала, угол наклона, наклон и т. Д. Модули могут работать на основе различных режимов работы. Например, система LiDAR , 1800, может получать внешний ввод, такой как скорость транспортного средства, который может использоваться для определения того, в каком режиме должна работать система LiDAR , 1800, .В режиме первой скорости транспортного средства (например, в режиме низкой скорости) модули могут конфигурировать систему LiDAR , 1800, для работы соответственно для создания точечных карт, более подходящих для первого режима. Во втором режиме скорости транспортного средства (например, в режиме высокой скорости) модули могут конфигурировать систему LiDAR , 1800, для работы соответственно для создания точечных карт, более подходящих для второго режима.

Модуль частоты повторения 1862 может управлять частотой повторения или временным интервалом последовательных излучений светового луча лазерного источника 1812 .Частота повторения может быть согласована с одной или несколькими интересующими областями, углом наклона, скоростью вращения зеркала и наклоном оси вращения. Модуль , 1864, области интереса может отвечать за управление лазерной подсистемой , 1810, и системой управления лучом , 1830, , чтобы гарантировать, что одна или несколько областей интереса в пределах поля зрения более точно отражаются на точечной карте. ИНЖИР. 19 показывает иллюстративное поле зрения (FOV) 1900 системы LiDAR согласно варианту осуществления. Как показано, FOV 1900 представляет собой двумерное пространство, ограниченное измерениями X и Y.Хотя система LiDAR может собирать точки данных из всего поля зрения 1900 , определенные области интереса (ROI) могут иметь более высокий приоритет над другими областями в пределах поля зрения 1900 (например, такие как нежелательные области, которые занимают все пространство в пределах поля зрения . 1900 , что не является ROI). ИНЖИР. 19 показаны пять различных иллюстративных областей интереса 1910 1914 для иллюстрации различных областей в пределах поля зрения 1900 , которые требуют дополнительных точек данных, чем другие области в пределах поля зрения 1900 .Например, ROI 1210 занимает всю полосу фиксированной высоты по оси Y поперек оси X FOV 1900 . ROI 1911 и 1912 показывают локализованные ROI ниже ROI 1910 , а ROI 1913 и 1914 показывают локализованные ROI выше ROI 1910 . Следует понимать, что может существовать любое количество ROI, и что ROI могут занимать любую часть FOV 1900 . Модуль , 1864, области интереса может работать вместе с другими модулями, чтобы обеспечить возможность сбора дополнительных точек данных в областях интереса таким образом, чтобы не нарушать работу системы LiDAR.

Возвращаясь к фиг. 18, модуль , 1866, угла наклона может управлять переменными углами наклона в вариантах осуществления, в которых угол наклона регулируется. Модуль угла луча , 1868, может управлять углом луча одного или нескольких световых лучей. Модуль управления MFM 1870 может управлять скоростью вращения многогранного зеркала 1842 . Модуль наклона оси вращения , 1872, может управлять осью наклона многоугольника , 1852, . Контроллер , 1860, может координировать работу каждого модуля для создания желаемой точечной карты.

РИС. 20A и 20B показано иллюстративное устройство многогранного зеркала, используемое в системе LiDAR 2000 согласно варианту осуществления. Система LiDAR 2000 включает в себя многоугольник 2010 , который вращается вокруг оси вращения 2015 , двигатель 2002 и многогранное зеркало 2020 . Многогранное зеркало 2020 включает в себя грани 2021 и 2022 , которые соединены вместе посредством соединительного элемента 2030 .Фацет 2022 соединен с двигателем 2002 . Грань 2021 параллельна оси вращения 2025 , а грань 2022 параллельна оси вращения 2026 . Двигатель 2002 работает для колебания фаски 2022 вокруг оси вращения 2026 . Шарнирный элемент 2030 может преобразовывать вращательное движение двигателя 2002 (через грань 2022 ) для колебания грани 2021 вдоль оси вращения 2025 .Например, шарнирный элемент 2030 может быть шарниром с постоянной скоростью или универсальным шарниром, который переводит вращение грани 2022 на грань 2021 . Таким образом, даже несмотря на то, что для возбуждения колебаний граней 2021 и 2022 используется только один двигатель, соединительный элемент 2030 может перемещать вращение двигателя , 2002, , так что обе грани вращаются вокруг своих соответствующих осей. Таким образом, использование одного двигателя (т.е. двигателя 2002 ) в сочетании с шарнирным элементом 2030 преимущественно исключает избыточное использование одного двигателя на каждую ось вращения.Четыре луча могут быть нацелены на зеркало 2020 , при этом три луча взаимодействуют с гранью 2021 , а один луч взаимодействует с гранью 2022 . Расположение луча и зеркала создает облако точек, которое является относительно плотным в передней части поля зрения и относительно разреженным в боковой части поля зрения. См. Фиг. 21A и 21B, которые показывают соответствующую точечную карту и цветовую карту апертуры, которые могут быть сгенерированы с использованием системы LiDAR 2000 .

Считается, что изложенное здесь раскрытие охватывает несколько отдельных изобретений с независимой полезностью.Хотя каждое из этих изобретений было раскрыто в его предпочтительной форме, конкретные варианты его осуществления, как раскрыто и проиллюстрировано здесь, не следует рассматривать в ограничительном смысле, поскольку возможны многочисленные вариации. Каждый пример определяет вариант осуществления, раскрытый в предшествующем раскрытии, но любой один пример не обязательно охватывает все признаки или комбинации, которые могут быть заявлены в конечном итоге. Если в описании содержится «а» или «первый» элемент или их эквивалент, такое описание включает в себя один или несколько таких элементов, не требуя и не исключающих два или более таких элементов.Кроме того, порядковые указатели, такие как первый, второй или третий, для идентифицированных элементов используются, чтобы различать элементы, и не указывают необходимое или ограниченное количество таких элементов, а также не указывают конкретное положение или порядок таких элементов, если только особо не указано иное.

Более того, любые процессы, описанные со ссылкой на фиг. 1-21, а также любые другие аспекты изобретения, каждый может быть реализован с помощью программного обеспечения, но также может быть реализован с помощью аппаратного обеспечения, встроенного программного обеспечения или любой комбинации программного обеспечения, аппаратного обеспечения и встроенного программного обеспечения.Каждый из них также может быть воплощен в виде машиночитаемого или машиночитаемого кода, записанного на машиночитаемом носителе. Машиночитаемый носитель может быть любым устройством хранения данных, которое может хранить данные или инструкции, которые после этого могут быть прочитаны компьютерной системой. Примеры машиночитаемого носителя могут включать, помимо прочего, постоянную память, оперативную память, флэш-память, CD-ROM, DVD, магнитную ленту и оптические устройства хранения данных. Машиночитаемый носитель также может быть распределен по компьютерным системам, связанным с сетью, так что машиночитаемый код сохраняется и выполняется распределенным образом.Например, машиночитаемый носитель может передаваться от одной электронной подсистемы или устройства к другой электронной подсистеме или устройству с использованием любого подходящего протокола связи. Машиночитаемый носитель может воплощать машиночитаемый код, инструкции, структуры данных, программные модули или другие данные в модулированном сигнале данных, таком как несущая волна или другой транспортный механизм, и может включать в себя любую среду доставки информации. Модулированный сигнал данных может быть сигналом, одна или несколько характеристик которого установлены или изменены таким образом, чтобы кодировать информацию в сигнале.

Следует понимать, что любой или каждый модуль или конечный автомат, обсуждаемые в данном документе, могут быть предоставлены как программная конструкция, конструкция встроенного программного обеспечения, один или несколько аппаратных компонентов или их комбинация. Например, любой один или несколько конечных автоматов или модулей могут быть описаны в общем контексте исполняемых компьютером инструкций, таких как программные модули, которые могут выполняться одним или несколькими компьютерами или другими устройствами. Обычно программный модуль может включать в себя одну или несколько подпрограмм, программ, объектов, компонентов и / или структур данных, которые могут выполнять одну или несколько конкретных задач или которые могут реализовывать один или несколько конкретных абстрактных типов данных.Также следует понимать, что количество, конфигурация, функциональные возможности и взаимосвязь модулей или конечных автоматов являются просто иллюстративными, и что количество, конфигурация, функциональные возможности и взаимосвязь существующих модулей могут быть изменены или опущены, дополнительные модули могут быть добавлено, и взаимосвязь некоторых модулей может быть изменена.

Несмотря на то, что многие изменения и модификации настоящего изобретения, несомненно, станут очевидными для специалиста в данной области техники после прочтения вышеприведенного описания, следует понимать, что конкретные варианты осуществления, показанные и описанные в качестве иллюстрации, никоим образом не может считаться ограничивающим.Следовательно, ссылка на детали предпочтительных вариантов осуществления не предназначена для ограничения их объема.

ЗЕРКАЛО УЧЕНИКА, ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА И ОСВЕЩЕНИЕ ДЛЯ СИСТЕМЫ ПРОЕКЦИОННОЙ ЛИТОГРАФИИ

Настоящая заявка является продолжением международной заявки PCT / EP2018 / 080492, поданной 7 ноября 2018 г., которая испрашивает выгоду в соответствии с 35 USC 119 заявки Германии № 10 2017 220 586,5, и испрашивает выгоду в соответствии с 35 USC 120. подана 17 ноября 2017 г. Полное описание этих заявок включено сюда в качестве ссылки.

Настоящее изобретение относится к фасетному зеркалу зрачка для осветительного оптического блока проекционного экспонирующего устройства. Кроме того, изобретение относится к оптической системе для проекционного экспонирующего устройства. Кроме того, раскрытие относится к оптическому блоку освещения проекционного экспонирующего устройства. Кроме того, раскрытие относится к устройству проецирования экспонирования. Наконец, раскрытие относится к способу производства микроструктурированного или наноструктурированного компонента и к компоненту, полученному в соответствии с этим способом.

Известна основная конструкция проекционного экспонирующего устройства, в частности осветительного оптического блока с сотовым конденсатором. Для получения подробной информации в качестве примера следует сделать ссылку на WO 2009/100 856 A1.

Согласно первому аспекту раскрытия, зеркало фасеточного зрачка для осветительного оптического блока проекционного экспонирующего устройства включает в себя множество фасеток зрачка, при этом совокупность фасеток зрачка имеет наименьшую эллиптическую краевую кривую, огибающую фасетки зрачка, эллиптическая кромочная кривая, имеющая отношение осей a / b от 1.От 1 до 1,68, в частности в диапазоне от 1,24 до 1,52, где a обозначает большую полуось, а b обозначает малую полуось. Здесь наименьшая охватывающая эллиптическая краевая кривая обозначает замкнутую эллиптическую кривую, которая окружает все грани зрачка и при этом имеет наименьшую возможную площадь.

В соответствии с дополнительным аспектом раскрытия, зеркало фасетки зрачка для осветительного оптического блока устройства проекционного экспонирования включает в себя множество фасетов зрачка, при этом, по меньшей мере, подмножество фасеток зрачка имеет разные преломляющие способности в тангенциальном и сагиттальном направлениях. направления.Здесь тангенциальный и сагиттальный обозначают два ортогональных нормальных участка поверхности фасетки зрачка, которые, как обычно, ориентированы относительно выравнивания объекта, то есть фасета поля, который необходимо отобразить. Следовательно, фасетки зрачка имеют асферический вариант, в частности, факультативно торический вариант.

Относительная разница δR отн. между двумя главными радиусами кривизны в сагиттальном и тангенциальном сечениях

δRrel = Rtan-Rsag12 (Rtan + Rs ag)

составляет не менее 20%; однако она может быть даже больше 100% или даже 500%.Фактически, фасетки зрачка также могут быть цилиндрическими в том смысле, что один из двух главных радиусов кривизны становится бесконечным в центре фасетки. Точно так же фасетки зрачка могут образовывать седловидную поверхность, то есть один главный радиус кривизны является положительным, а другой — отрицательным.

Согласно раскрытию, было обнаружено, что это может уменьшить полевую зависимость освещенности выходного зрачка проекционного экспонирующего устройства. В частности, это поддерживает астигматический входной зрачок, т.е.е. наличие тангенциального входного зрачка и сагиттального входного зрачка, взаимное расположение которых не совпадает, и условия визуализации фасеток поля на сетке одновременно. Если обращать внимание только на визуализацию фасеток поля в случае различных относительных положений двух входных зрачков, можно сконструировать фасетки зрачков и передающий оптический блок в сферической форме и принять зависимость выходного зрачка от поля. на вафле.

Зеркало фасетки зрачка согласно раскрытию является преимуществом, в частности, в случае проекционного экспонирующего устройства с проекционным оптическим блоком, формирующим анаморфотное изображение.

Другой аспект раскрытия относится к оптической системе для проекционного экспонирующего устройства, в которой след на втором фасетном зеркале имеет огибающую с первым соотношением сторон AV 1 , а проекционный оптический блок имеет входной зрачок с второе соотношение сторон AV 2 , где: AV 1 ≠ AV 2 .

Здесь отпечаток означает пересечение поверхности второго фасетного зеркала, в частности плоскости, в которой расположено второе фасетное зеркало, со световой трубкой, определяемой числовой апертурой на пластине, т.е.е., в поле изображения. Размер поля также входит в определение световой трубки. Особенно в случае относительного положения фасеточного зеркала зрачка, которое отличается от поверхности зрачка (ориентация, кривизна), на фасеточном зеркале зрачка возникает совокупность следов, назначенных отдельным точкам поля. Это также причина, по которой след не совсем эллипс, см. Ниже.

Огибающая контура может быть наименьшей выпуклой оболочкой, в частности наименьшей эллиптической оболочкой.

Посредством соответствующего варианта выполнения, в частности второго фасетного зеркала, можно учесть тот факт, что другое зеркало, которое влияет на это соотношение сторон, расположено между вторым фасетным зеркалом и сеткой. Другими словами, соответствующим образом адаптируя след на втором фасетном зеркале, можно адаптировать его на входном зрачке проекционного оптического блока.

В частности, второе фасетное зеркало может быть выполнено в виде фасеточного зеркала зрачка в соответствии с предыдущим описанием.Здесь совокупность граней зрачка может иметь наименьшую огибающую эллиптическую краевую кривую с отношением осей a / b в диапазоне от 1,1 до 1,68. Однако это не обязательно. Также возможен вариант выполнения второго фасеточного зеркала с отклонением от него.

В частности, относительная разница между двумя форматами изображения AV 1 и AV 2 составляет не менее 10%:

AV1-AV212 (AV1 + AV2) ≥1 0%

Согласно дополнительному аспекту раскрытия, оптическая система для устройства проецирования экспонирования включает в себя оптический блок освещения, включающий, по меньшей мере, два фасеточных зеркала, при этом след на втором фасетном зеркале имеет неэллиптическую форму.

В локальных координатах, например в полярных координатах, форма следа на втором фасетном зеркале может быть представлена ​​следующим образом:


(φ) = t (φ) (φ) = (1 + α (φ ) {стрелка вправо над (r)} (φ)


, где


(φ) = (α cos (φ), b cos (φ) + b 0 )

представляет параметризация эллипса, подогнанного к плоскому следу, например, аппроксимация методом наименьших квадратов, а t (φ) обозначает растяжение с зависящим от направления коэффициентом растяжения 1 + α (φ), где следующее, например, применяется к α (φ):


α (φ) = — A sin (3φ)

с 0.005 <А <0,02.

Радиальное отклонение следа от оптимального эллипса составляет, в частности, от 0,5% до 2%.

В частности, оптическая система в соответствии с предыдущим описанием может включать в себя фасеточное зеркало зрачка и / или оптический блок подсветки в соответствии с предыдущим описанием.

Согласно дополнительному аспекту раскрытия, проекционный оптический блок устройства проецирования экспонирования изображения анаморфотирует. В частности, он имеет шкалы отображения в направлении сканирования и перпендикулярно ему, которые отличаются по абсолютной величине не менее чем на 10%, в частности, по меньшей мере, на 50%, в частности, по меньшей мере, 100%, в частности, по меньшей мере, 200%, в в частности не менее 400%.Шкалы визуализации могут иметь одинаковый знак. Также они могут иметь разные знаки.

Согласно дополнительному аспекту раскрытия, проекционный оптический блок имеет механически недоступный входной зрачок.

Согласно дополнительному аспекту раскрытия, осветительный оптический блок для направления светового излучения от источника излучения на плоскость объекта включает в себя, по меньшей мере, два фасеточных зеркала, расположенных последовательно на пути луча, при этом второе фасетное зеркало наклонено относительно первое фасетное зеркало таким образом, чтобы средний угол складывания составлял от 20 ° до 35 °.

Было обнаружено, что это приводит к хорошему компромиссу между отображением промежуточного фокуса через переключаемые грани первого фасетного зеркала на фасеты второго фасеточного зеркала, которое максимально сфокусировано, и освещением выходного зрачка проекционного оптического блока. , в частности, расположение второго фасетного зеркала в плоскости, которая представляет собой наилучшее возможное приближение к поверхности, сопряженной с входным зрачком проекционного оптического блока, то есть как можно более независимой от поля.В общем случае поверхность, сопряженная с входным зрачком, представляет собой не плоскость, а поверхность с кривизной, отличной от нуля. Тем не менее, для простоты ниже упоминается плоскость зрачка.

Согласно дополнительному аспекту раскрытия, второе фасетное зеркало расположено так, чтобы оно было наклонено относительно поверхности, которая сопряжена с плоскостью входного зрачка проекционного оптического блока в максимально возможной степени или относительно плоскости приспособлен к нему.

Согласно дополнительному аспекту раскрытия, оптический блок освещения для направления излучения освещения от источника излучения к плоскости объекта включает в себя передающий оптический блок, расположенный после второго фасетного зеркала на пути луча, при этом передающий оптический блок имеет разная преломляющая сила в тангенциальном и сагиттальном направлениях.В частности, передающий оптический блок образует конденсаторную систему для отображения второго фасеточного зеркала во входном зрачке проекционного оптического блока.

Такой вариант передающего оптического блока обеспечивает сходящееся освещение сетки нитей. В то же время это облегчает компенсацию астигматизма, вызванного углом перегиба зеркала конденсатора. Оптический блок передачи имеет аберрации изображения; в этом случае преобладает астигматизм. Этот астигматизм компенсируется введением торических поверхностей.Кроме того, передающий оптический блок может служить для помощи в формировании астигматического изображения входного зрачка в выходной зрачок проекционного оптического блока, то есть, в частности, проектировать это изображение так, чтобы оно не зависело от поля.

Согласно дополнительному аспекту раскрытия, относительная разность преломляющих сил, выраженная разными радиусами кривизны в тангенциальном и сагиттальном направлениях

δRrel = Rtan-Rsag12 ( Rtan + Rsag)

колеблется от 5% до 30%, в частности от 7% до 22%.Эти значения оказались особенно выгодными в случае расстояния между вторым фасетным зеркалом и зеркалом конденсатора от 1,5 до 2,5 м.

Согласно дополнительному аспекту раскрытия оптический блок передачи включает в себя одно, два или более зеркала. В частности, он может включать в себя одно или два зеркала нормального падения (зеркала NI) и / или одно или два зеркала скользящего падения (зеркала GI).

Дополнительный аспект раскрытия относится к проекционному экспонирующему устройству, имеющему фасеточное зеркало зрачка в соответствии с предыдущим описанием и / или оптический блок освещения в соответствии с предыдущим описанием и / или оптическую систему в соответствии с предыдущим описанием. .

Дополнительные цели раскрытия заключаются в улучшении способа производства микроструктурированного или наноструктурированного компонента, а также соответствующего компонента. Эти цели достигаются за счет использования проекционного экспонирующего устройства в соответствии с приведенным выше описанием. Преимущества очевидны из преимуществ проекционного экспонирующего устройства.

Дополнительные детали и преимущества раскрытия станут очевидными из следующего описания примерных вариантов осуществления со ссылкой на чертежи, на которых:

Фиг.1 схематично показывает меридиональный разрез пути луча устройства проекционного экспонирования;

РИС. 2 схематично показывает сечение пути луча проекционного экспонирующего устройства из области оптического блока освещения;

РИС. 3 показано распределение интенсивности на первом фасетном зеркале осветительного оптического блока согласно фиг. 2 в качестве примера;

РИС. 4 показано распределение интенсивности на втором фасетном зеркале осветительного оптического блока согласно фиг.2 схематично;

РИС. 5 схематично показано распределение интенсивности в поле объекта оптического блока освещения согласно фиг. 2;

РИС. 6 — схематическая иллюстрация для объяснения наклона плоскости (EPK), которая сопряжена с плоскостью входного зрачка проекционного оптического блока в максимально возможной степени относительно плоскости, ортогональной опорному главному лучу;

РИС. 7 схематически показано сравнение реального отпечатка на втором фасетном зеркале с эллипсом; и

ФИГ.8 схематично показывает иллюстрацию согласно фиг. 1 согласно одной альтернативе, и

ФИГ. 9 показывает схематический эскиз для пояснения бигомоцентрического относительного положения входного зрачка.

Составные части устройства экспонирования для микролитографического проецирования 1 сначала описаны ниже в качестве примера со ссылкой на фиг. 1. Описание базовой конструкции проекционного экспонирующего устройства 1, и его составных частей не следует рассматривать как ограничительное в данном случае.В известном уровне техники раскрыты многочисленные разработки и альтернативы общего принципа.

Система освещения 2 проекционного экспонирующего устройства 1 имеет, помимо источника излучения 3 , осветительный оптический блок 4 для освещения поля объекта 5 в плоскости объекта 6 . Здесь отображается сетка 20 , расположенная в поле объекта 5 . Сетка 20 удерживается держателем сетки 21 .

Сетка 20 может перемещаться, особенно в направлении сканирования.

Локальная декартова система координат xyz показана на фиг. 1, чтобы помочь объяснению. Сетка 20 служит точкой отсчета для системы координат, изображенной на фиг. 1. Здесь направление сканирования сетки 20 соответствует направлению y. Направление Z проходит перпендикулярно плоскости объекта 6 .

Кроме того, проекционное устройство экспонирования 1, включает в себя проекционный оптический блок 7, .Проекционный оптический блок 7 служит для отображения поля 5 объекта в поле 8 изображения в плоскости 9 изображения. Структура сетки 20 отображается на светочувствительном слое пластины 22 , расположенной в области поля 8 изображения в плоскости 9 изображения. Пластина 22 удерживается держателем пластины 23 . В частности, он перемещается с помощью держателя пластин 23 .Его можно перемещать синхронно с сеткой 20 .

Источник излучения 3 — источник ультрафиолетового излучения. В частности, источник излучения 3 испускает EUV-излучение 10 , которое ниже также называется используемым излучением или освещающим излучением. В частности, используемое излучение имеет длину волны от 5 нм до 30 нм. Источник излучения 3, может быть источником плазмы. Это также может быть источник излучения на основе синхротрона.

Осветительное излучение 10 , выходящее из источника излучения 3 , фокусируется коллектором 11 .

Осветительное излучение 10 распространяется через промежуточную плоскость фокусировки 12 после коллектора 11 . Промежуточная плоскость фокусировки , 12, может представлять собой разделение между модулем источника излучения и оптическим блоком освещения.

Осветительный оптический блок 4, включает в себя первое фасетное зеркало 13 .При условии, что первое фасетное зеркало , 13, расположено в плоскости осветительного оптического блока 4 , которая оптически сопряжена с предметной плоскостью 6 , фасетное зеркало также называется полевым фасетным зеркалом 13 . Первое фасеточное зеркало , 13, включает в себя множество отдельных первых фасетов 13, , и , которые ниже также называются полевыми фасетами.

В качестве примера, как известно из DE 10 2008 009 600 A1, каждая из первых граней 13 и может состоять из множества отдельных зеркал, в частности множества микрозеркал.В частности, первое фасетное зеркало , 13, может быть выполнено как микроэлектромеханическая система (система MEMS). Подробности можно найти в DE 10 2008 009 600 A1.

Второе фасетное зеркало , 14, расположено после первого фасеточного зеркала , 13, на пути луча осветительного оптического блока 4 . Если второе фасетное зеркало , 14, расположено в плоскости зрачка осветительного оптического блока 4, , фасетное зеркало также называется фасеточным зеркалом зрачка.Второе фасетное зеркало , 14, также может быть расположено на расстоянии от плоскости зрачка осветительного оптического блока 4 . В этом случае комбинация первого фасеточного зеркала , 13, и второго фасетного зеркала , 14, также называется зеркальным отражателем.

Второе зеркало 14 a включает в себя множество вторых граней 14 a . В случае фасеточного зеркала зрачка вторые фасеты , 14, , и также называются фасетами зрачка.

Детали огранки первого фасетного зеркала 13 и второго фасетного зеркала 14 еще раз поясняются на фиг. 2 в образцовой форме.

Следовательно, осветительный оптический блок 4 образует двустороннюю систему. Этот основной принцип также называют интегратором «мухи глаз».

Как будет еще более подробно объяснено ниже, может быть выгодно расположить второе фасетное зеркало , 14, не точно в плоскости, которая оптически сопряжена с плоскостью зрачка проекционного оптического блока 7 .

Отдельные первые грани 13 a отображаются в поле объекта 5 с помощью второго фасеточного зеркала 14 и оптического узла формирования изображения в виде передающего оптического блока 15 .

Однако было установлено, что отображение первых фасетов 13 a в плоскости объекта 6 через вторые фасеты 14 a или вторые фасеты 14 a и a оптический блок передачи 15 является только приблизительным.Это все еще будет объяснено более подробно ниже.

Передающий оптический блок 15, схематично показан как отдельное зеркало на фиг. 1. Фиг. 2 показан альтернативный вариант без передающего оптического блока 15 . Обычно передающий оптический блок , 15, включает в себя одно, два или более зеркала, которые расположены последовательно на пути луча оптического блока 4, освещения. В частности, он может включать в себя одно или два зеркала нормального падения (зеркала NI) и / или одно или два зеркала скользящего падения (зеркала GI).

Здесь NI-зеркало относится к зеркалу, которое расположено на пути луча осветительного оптического блока таким образом, что падающее на него осветительное излучение имеет угол падения не более 30 ° относительно нормали к зеркалу.

Здесь GI-зеркало относится к зеркалу, которое расположено на пути луча осветительного оптического блока таким образом, что падающее на него световое излучение имеет угол падения по меньшей мере 70 ° относительно нормали к зеркалу.

Проекционный оптический блок 7, включает в себя множество зеркал M i , которые пронумерованы в соответствии с их расположением на пути луча проекционного экспонирующего устройства 1 .

В примере, показанном на фиг. 1, проекционный оптический блок 7, включает в себя восемь зеркал от M 1 до M 8 . Возможны также варианты с четырьмя, шестью, десятью, двенадцатью или любым другим количеством зеркал M и .

В частности, проекционный оптический блок 7, имеет анаморфный вариант осуществления. В частности, он имеет разные масштабы изображения β x , β y в направлении x и y. Два масштаба изображения β x , β y проекционного оптического блока 7 необязательно (β x , β y ) = (+ 0.25, -0,125). Следовательно, в направлении x, то есть в направлении, перпендикулярном направлению сканирования, проекционный оптический блок 7, приводит к уменьшению с соотношением 4: 1.

В направлении y, то есть в направлении сканирования, проекционный оптический блок 7 приводит к уменьшению изображения 8: 1.

Также возможны другие шкалы визуализации. Также возможны шкалы изображений с одинаковым знаком в направлении x и y.

РИС. 2 еще раз упрощенно иллюстрирует путь луча осветительного излучения 10, в осветительной системе 2, .Назначение двух фасетов зрачка 14 a двум фасетам поля 13 a для формирования двух каналов освещения для освещения поля объекта 5 показано в качестве примера. Проиллюстрировано освещение типа Колера. С помощью фасетов поля 13 a дальнее поле раскладывается на множество полей объекта 5 . Грани 13 a поля формируют множество изображений промежуточного фокуса на фасетах 14 a зрачка, соответственно назначенных им.

Освещение полевого фасеточного зеркала , 13, в качестве примера показано на фиг. 3.

Освещение фасеточного зеркала , 14, зрачка в качестве примера показано на фиг. 4. Здесь, в частности, показаны изображения промежуточного фокуса 16 на фасеточном зеркале 14 зрачка.

Каждая из граней поля 13 a отображается на сетке 20 ассоциированным фасетом зрачка 14 a для освещения поля объекта 5 .

Примерное освещение поля объекта 5 проиллюстрировано на фиг. 5. В частности, освещение предметного поля 5 должно быть максимально однородным. Необязательно, он имеет ошибку однородности менее 2%.

Равномерность поля может быть достигнута путем наложения различных каналов освещения.

Равномерность зрачка может быть достигнута за счет перераспределения каналов освещения.

Освещенность входного зрачка проекционного оптического блока 7 может быть определена геометрически посредством расположения граней зрачка.Можно установить распределение интенсивности во входном зрачке проекционного оптического блока 7, , выбрав каналы освещения, в частности подмножество фасеток зрачка, направляющих свет.

Дополнительные аспекты и детали освещения поля объекта 5 и, в частности, входного зрачка проекционного оптического блока 7 описаны ниже.

Проекционный оптический блок 7 , в частности, имеет гомоцентрический входной зрачок.Это может быть доступно. Он также может быть недоступен.

Было обнаружено, что часто невозможно точно осветить входной зрачок проекционного оптического блока 7 с помощью фасеточного зеркала зрачка 14 . В частности, было обнаружено, что апертурные лучи часто не пересекаются в одной точке в случае формирования изображения проекционного оптического блока 7 , который отображает центр фасеточного зеркала 14 зрачка на пластине 22 в телецентрическая мода.Однако можно найти поверхность, на которой расстояние между апертурными лучами, определенное попарно, становится минимальным. Эта поверхность представляет собой входной зрачок или сопряженную с ним поверхность в реальном пространстве. В соответствии с раскрытием было установлено, что грани зрачка , 14, , и желательно располагать на этой поверхности, где это возможно, чтобы генерировать на стороне изображения на пластине 22 освещение выходного зрачка пластины. проекционный оптический блок 7 , максимально независимый от поля.В частности, эта поверхность имеет конечную кривизну.

Возможно даже, что проекционный оптический блок 7, имеет разные относительные положения входного зрачка для пути тангенциального луча и для пути сагиттального луча. В этом случае элемент формирования изображения, в частности оптический компонент передающего оптического блока 15 , должен быть предусмотрен между вторым фасетным зеркалом 14 и сеткой 20 . С помощью этого оптического элемента можно учитывать различные относительные положения тангенциального входного зрачка и сагиттального входного зрачка.

В расположении компонентов осветительного оптического блока 4 , показанного на фиг. 1, зеркало , 14, фасетки зрачка не расположено на поверхности, сопряженной с входным зрачком проекционного оптического блока 7, . Кроме того, он наклонен относительно предметной плоскости 5, . Кроме того, он расположен под наклоном по отношению к плоскости, определяемой полевым зеркалом 13 . Согласно раскрытию, было выявлено, что сильный наклон фасеточного зеркала зрачка 14 относительно полевого фасеточного зеркала 13 приводит к полевым фасетам 13 a , частично генерируя очень расфокусированные изображения промежуточного фокуса. 16 при переключении между разными настройками освещения.Это приводит либо к увеличению степени заполнения зрачка и, следовательно, к максимально достижимому пределу разрешения, либо к потере светового излучения и, следовательно, к снижению пропускания и одновременному снижению стабильности системы.

Однако выравнивание фасеточного зеркала 14 зрачка параллельно полевому фасетному зеркалу 13 приводит к зависящему от поля освещению выходного зрачка проекционного оптического блока 7 на пластине 22 .

Оказалось, что выравнивание фасеточного зеркала 14 зрачка, которое приводит к углу сгиба от 20 ° до 35 °, представляет собой особенно хороший компромисс между этими двумя альтернативами. Здесь угол изгиба означает удвоенный средний угол падения центральных световых лучей на грани зрачка 14 a.

Далее было обнаружено, что выгодное расположение фасеточного зеркала зрачка 14 также описывается углом φ EPK-MM2 , через который фасеточное зеркало 14 зрачка по отношению к плоскости, представляющей сопряженную поверхность входного зрачка (ЕПК) в максимально возможной степени.

Наименьшие исходные изображения на фасеточном зеркале зрачка 14 возникают в случае расположения такого же перпендикуляра к соединительной линии между полевым фасетным зеркалом 13 и фасетным зеркалом зрачка 14 . В этом случае применяется следующее:


φ EPK-MM2 = φ EPK + φ MM2

Здесь φEPK обозначает угол плоскости 26 , перпендикулярной опорному главному лучу {справа стрелка вверх (k r )} после отражения в зеркале конденсатора 25 относительно плоскости EPK 27 (см. фиг.6). Опорный главный луч принадлежит центроиду прямоугольника, ограничивающего поле изображения на стороне пластины. Здесь выходной зрачок телецентрический или виртуально телецентрический. В частности, конденсаторное зеркало 25, является оптической составной частью оптического блока передачи 15 .

Чтобы уменьшить геометрические ошибки зрачка, может быть целесообразно разместить фасетное зеркало 14 зрачка на биссектрисе угла между конденсорным зеркалом, фасетным зеркалом зрачка 14 и полевым фасетным зеркалом 13 .В этом случае применяется следующее:


φ EPK-MM2 = φ EPK + ½φ MM2

Преимущественно угол φ EPK-MM2 находится между двумя указанными значениями:


φ EPK + ½φ MM2 ≤φ EPK-MM2 ≤φ EPK + φ MM2

Еще одно граничное условие проекционного оптического блока 7 , в частности, для дизайна поверхности произвольной формы, — строго гомоцентрическое относительное положение входного зрачка.Однако могут быть два гомоцентрических центра, которые разнесены друг от друга и даже могут различаться по знаку; т.е. один из гомоцентрических центров расположен перед сеткой 20, в направлении излучения, а другой — позади нее.

В соответствии с описанием было установлено, что можно обслуживать оба гомоцентрических центра с помощью одной оптической системы между фасеточным зеркалом 14 зрачка и сеткой 20 , в частности, с помощью передающего оптического блока 15 .В частности, это может быть достигнуто за счет торического исполнения конденсаторного зеркала 25, . Это приводит к тому, что соотношение сторон двух главных осей a и b наименьшей эллиптической краевой кривой (контура), которая охватывает все грани зрачка 14 a , не обязательно соответствует соотношению двух изображений шкалы проекционного оптического блока 7 отображение анаморфотных изображений.

Если два гомоцентрических центра EP x , EP y разнесены друг от друга, соотношение осей a / b вычисляется параксиальным способом как

ab = βxEPxEPy + dC MβyEPyEPx + dCM

, где d CM обозначает расстояние от сетки 20 , например, от геометрического центра тяжести прямоугольника, охватывающего поле объекта 5 , до конденсатора зеркало 25 .

Большое расстояние d CM между сеткой 20 и зеркалом конденсатора 25 оказалось особенно целесообразным для передачи системы. В частности, применяется 2000 мм CM <3000 мм.

Кроме того, было обнаружено, что большая разница между двумя гомоцентрическими центрами особенно выгодна в конструкции проекционного оптического блока 7 . Следующее относится к особенно выгодной оптической системе: 2000 мм x <3000 мм и 5000 мм y <8000 мм.Эти расстояния измеряются от центра тяжести прямоугольника, ограничивающего поле изображения со стороны сетки. «Положительное расстояние» означает, что гомоцентрические центры расположены ниже сетки нитей в направлении света.

Следующее относится к соотношению осей a / b: 1,10

РИС. 9 иллюстрирует геометрические соотношения, в частности, относительное положение гомоцентрических центров и гомоцентрической прямой линии, в случае бигомоцентрического входного зрачка, в качестве примера.В проиллюстрированном случае оба гомоцентрических центра (EP x , EP y ) расположены после сетки 20 в направлении излучения. Следовательно, они недоступны для освещения. На фиг. 9, кроме точки поля = (x, y, 0) на сетке 20 , опорное направление главного луча


= (0, −sin (α), cos (α))

сагиттальное телецентрическое прямая линия = EP x {стрелка вправо над (k R )} + υ (0, cos (α), sin (α))
и касательная телецентрическая прямая = EP y + ν (1, 0,0)
показаны в качестве примера.Как поясняется на фиг. 9, относительное сагиттальное положение зрачка и относительное тангенциальное положение зрачка не обязательно должны совпадать, то есть они могут быть разнесены друг от друга.

Подсветка сетки 20 сходящимся образом может быть выгодной для конструкции проекционного оптического блока 7 . Это приводит к недоступному относительному положению входного зрачка проекционного оптического блока 7 . В этом случае система освещения 2, имеет по меньшей мере один оптический элемент с преломляющей способностью, например соответствующее конденсаторное зеркало 25 , между зеркалом 14 фасетки зрачка и сеткой 20 .С помощью этого оптического элемента можно отображать фасеточное зеркало , 14, зрачка во входной зрачок.

Как уже упоминалось, может быть отклонение между тангенциальной преломляющей силой и сагиттальной преломляющей силой этого оптического элемента. В результате этого, во-первых, можно компенсировать астигматизм, возникающий из-за угла перегиба конденсаторного зеркала 25, ; во-вторых, это может помочь в получении астигматического изображения входного зрачка.

Относительная разница между преломляющими способностями

δRrel = 100% Rtan-Rsag12 (Rtan + Rsag)

может варьироваться от 5% до 30%, в частности от 7% до 22%.

Соответствующая сила преломления или разность радиусов могут быть достигнуты с помощью одного конденсаторного зеркала или с помощью передающего оптического блока 15 с множеством зеркал. В частности, передающий оптический блок , 15, может включать в себя одно или два зеркала нормального падения (зеркала NI) и / или одно или два зеркала скользящего падения (зеркала GI).

Расстояние d MM2-CM между фасеточным зеркалом зрачка 14 и конденсорным зеркалом 25 может составлять от 1500 мм до 2500 мм.

Более того, было установлено, что такой вариант осуществления оптического блока 4 освещения, в частности передающего оптического блока 15 , приводит к тому, что световое излучение 10 отражается на фасетном зеркале зрачка 14 отклоняясь от эллиптической формы. Здесь отпечаток обозначает пересечение поверхности фасеточного зеркала , 14, зрачка со световой трубкой, определяемой числовой апертурой на пластине 22 .Все грани зрачка , 14, , и расположены внутри этого следа. Фактический оптический след на фасетном зеркале 14 зрачка обычно неровный, то есть фрагментированный.

Отклонение контура 31 от эллипса 32 в качестве примера проиллюстрировано на фиг. 7. Эллипс 32 — это эллипс, максимально приближенный к площади 31 . Здесь, например, наилучшие возможные средства в смысле метода наименьших квадратов (аппроксимация наименьших квадратов).

Если аппроксимированный эллипс параметризован в локальных координатах следующим образом:


(φ) = (α cos (φ), b cos (φ) + b 0 )

, тогда реальная площадь основания 31 (r вещественное ) может быть получено растяжением t (φ) из этого эллипса:


(φ) = t (φ) (φ) = (1 + α (φ)) (φ),

, где применяется следующее:


α (φ) = — A sin (3φ)

с 0,005

Согласно дополнительному аспекту раскрытия фасеты зрачка , 14, , и имеют разные преломляющие способности в тангенциальном и сагиттальном направлениях.В результате можно, по крайней мере, приблизительно отобразить грани поля 13 a на сетке 20 .

Фасеты зрачка 14 a , в частности, по меньшей мере, их подмножество, могут иметь основные радиусы кривизны в сагиттальном и тангенциальном сечениях, относительная разница которых составляет не менее 20%, в частности, не менее 50 %, в частности не менее 100%. Также возможно, что все фасеты зрачка 14 a имеют разную преломляющую способность в тангенциальном и сагиттальном направлениях.

РИС. 8 схематично иллюстрирует путь луча в устройстве 1 проекционного экспонирования с альтернативной конструкцией, в частности с альтернативной компоновкой первого фасеточного зеркала , 13, и второго фасетного зеркала , 14, . Согласно этой альтернативе оптический блок 15, передачи включает в себя два зеркала GI.

Фацетное зеркало — BURKE DECOR


Артикул: 7FACE-MIOL

977 долларов.50
Описание

Грани этого зеркала окружены простроченными вставками из богатой кожи оливкового цвета.

  • Материал: Кожа
  • Цвет: зеленый
  • Отделка: оливковая кожа
  • Размеры, как показано: диаметр 36 дюймов x глубина 2,5 дюйма
  • Код коллекции
  • : COL3
  • Стиль: Традиционный

* Этот товар исключен из распродаж и недоступен для дополнительных скидок или рекламных предложений.

Доставка и доставка

ЗАКАЗ: Заказы можно размещать онлайн 24 часа в сутки, позвонив по бесплатному телефону (888) 338-8111 с 9:00 до 18:00 EST с понедельника по пятницу или отправив электронное письмо на адрес [email protected] Пожалуйста, не указывайте информацию о своей кредитной карте в электронном письме. Представитель Burke Decor свяжется с вами по телефону в наши обычные рабочие часы для обработки.

После размещения заказа он сразу же отправляется на наш склад для обработки и подготовки к отправке. Это означает, что, к сожалению, после размещения заказа мы не можем его изменить или изменить.

ДОСТАВКА В 48 ШТАТОВ США:

Все заказы на сумму более 50 долларов США получают БЕСПЛАТНУЮ ДОСТАВКУ с доставкой на адрес в 48 смежных штатах. Стоимость доставки для заказов до 50 долларов США составляет 7 долларов США. В зависимости от размера и содержимого посылки отправляются через UPS, USPS, FedEx или DHL.

ДОСТАВКА НА АЛАСКУ И ГАВАИ:

Доставка посылок на Аляску и Гавайи оплачивается по фиксированной ставке в зависимости от веса.

Заказы весом от 0,1 фунта до 10,0 фунта стоят 15 долларов США

Заказы весом от 10,1 до 20,0 фунтов стоят 20 долларов США

Заказы весом от 20,1 до 40,0 фунтов стоят 40 долларов США

Обратите внимание, что мебель и предметы весом более 40 фунтов не могут быть отправлены в ALASKA и HAWAII без предварительного запроса коммерческого предложения перед заказом.

МЕЖДУНАРОДНЫЕ ДОСТАВКИ:

Тарифы рассчитываются при оформлении заказа на основе текущих тарифов Почтовой службы США, FedEx или DHL и информации о весе товара. Обратите внимание, что информация об отслеживании отправлений ограничена, и мы не можем гарантировать дату доставки для международных отправлений. Если вас интересуют варианты ускоренной международной доставки, спрашивайте.

Стоимость доставки по международным направлениям не включает стоимость налогов, тарифов и других таможенных сборов.Все налоги, тарифы и другие таможенные сборы оплачиваются получателем. Обратите внимание, что мебель и предметы весом более 40 фунтов не могут быть отправлены по международным направлениям без предварительного запроса расценок перед заказом.

Время выполнения международной доставки может быть больше, чем время доставки внутри страны, указанное на странице продукта.

Если у вас есть адрес APO, пожалуйста, свяжитесь с нами перед покупкой, чтобы подтвердить, что интересующие вас товары могут быть отправлены на ваш адрес через USPS.

Обзоры

{«id»: 4176585064484, «title»: «Facet Mirror», «handle»: «facet-mirror-design-by-jamie-young», «description»: «\ u003cp \ u003e грани это зеркало. \ u003c \ / p> \ n \ u003cul \ u003e \ n \ u003cli \ u003eMaterial: Hide \ u003c \ / li \ u003e \ n \ u003cli \ u003eColor: Green \ u003c \ / li \ u003e \ n u003cli> Отделка: Оливковая кожа \ u003c \ / li> \ n \ u003cli> Размеры, как показано: диаметр 36 дюймов.x 2,5 \ «d \ u003c \ / li> \ n \ u003cli> Код коллекции: COL3 \ u003c \ / li \ u003e \ n \ u003cli \ u003eСтиль: Традиционный \ u003c \ / li> \ n \ u003c \ / ul >>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>> дополнительные скидки или рекламные предложения. \ u003c \ / strong> \ u003c \ / p> «,» published_at «:» 2019-10-07T13: 35: 58-04: 00 «,» created_at «:» 2019-09 -30T15: 51: 31-04: 00 «,» поставщик «:» Джейми Янг «,» тип «:» Зеркала «,» теги «: [» 750-1000 «,» 7FACE-MIOL_NOETA_SHIP «,» зеленый «, «jamie-young», «JY_MIRROR», «Mirrors», «NEW-Sept2019», «NOETA_MW»], «price»: 97750, «price_min»: 97750, «price_max»: 97750, «available»: true, » price_varies «: false,» compare_at_price «: null,» compare_at_price_min «: 0,» compare_at_price_max «: 0,» compare_at_price_varies «: false,» варианты «: [{» id «: 30315602673700,» title «:» По умолчанию «,» option1 «:» По умолчанию «,» option2 «: null,» option3 «: null,» sku «:» 7FACE-MIOL «,» requires_shipping «: true,» taxable «: true,» Feature_image «: null,» a vailable «: true,» name «:» Facet Mirror «,» public_title «: null,» options «: [» Default «],» price «: 97750,» weight «: 17290,» compare_at_price «: null,» inventory_quantity «: 0,» inventory_management «:» shopify «,» inventory_policy «:» continue «,» barcode «:» 688933016765 «,» requires_selling_plan «: false,» sales_plan_allocations «: []}],» images «: [» \ / \ / cdn.shopify.com \ / s \ / files \ / 1 \ / 0153 \ / 0623 \ / products \ /7FACE-MIOL.jpg? v = 1571946110 «],» Feature_image «:» \ / \ / cdn.shopify.com \ /s\/files\/1\/0153\/0623\/products\/7FACE-MIOL.jpg?v=1571946110″,»options»:[«Title» ],»media»:[{«alt «: «Facet Mirror, дизайн Джейми Янга», «id»: 2511425699876, «position»: 1, «preview_image»: {«aspect_ratio»: 1.033, «height»: 1320, «width»: 1364, «src»: «https : \ / \ / cdn.shopify.com \ / s \ / files \ / 1 \ / 0153 \ / 0623 \ / products \ /7FACE-MIOL.jpg? v = 1570054028 «},» ratio_ratio «: 1.033,» height «: 1320,» media_type «:» image «,» src «:» https: \ / \ / cdn.shopify.com \ / s \ / files \ / 1 \ / 0153 \ / 0623 \ / products \ /7FACE-MIOL.jpg? v = 1570054028 «,» width «: 1364}],» requires_selling_plan «: false,» sales_plan_groups «: [],» content «:» \ u003cp \ u003e Прошитые панели из богатой оливковой кожи окружают грани этого зеркала. \ u003c \ / p \ u003e \ n \ u003cul \ u003e \ n \ u003cli \ u003eMaterial: Hide \ u003c \ / li> \ n \ u003cli> Цвет: Зеленый \ u003c \ / li> \ n \ u003cli> Отделка: Оливковая кожа \ u003c \ / li \ u003e \ n \ u003cli> \ «d \ u003c \ / li \ u003e \ n \ u003cli> Код коллекции: COL3 \ u003c \ / li \ u003e \ n \ u003cli \ u003eStyle: Традиционный \ u003c \ / li \ u003e \ n \ u003c \ / ul \ u003c \ / ul \ u003c \ / ul \ u003c \ / ul \ u003c \ / ul \ u003c \ \ n \ u003cp \ u003e \ u003c \ / p> \ n \ u003cp \ u003e \ u003c \ / p \ u003e \ n \ u003cp \ u003e \ u003cstrong> * Этот товар исключен из распродаж и недоступен для дополнительной скидки или рекламные предложения.

Добавить комментарий

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *